[发明专利]压力传感器封壳有效
申请号: | 201810075405.X | 申请日: | 2018-01-25 |
公开(公告)号: | CN109580076B | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 大卫·马修·斯特瑞;大卫·亚历山大·安德鲁;尼克拉斯·约翰·海伍德 | 申请(专利权)人: | 罗斯蒙特公司 |
主分类号: | G01L9/04 | 分类号: | G01L9/04;G01L19/14 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汪洋 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了一种压力传感器封壳,包括:限定处理腔的封壳主体;由封壳主体支撑并暴露于处理腔的隔离器,其中所述处理腔中具有第一压力;具有传感器输出的压力传感器,所述传感器输出指示内腔中的第二压力,所述内腔通过所述隔离器与所述处理腔隔离,所述第一压力通过所述隔离器施加到所述内腔中以产生所述第二压力;和从所述处理腔延伸到所述内腔的流体填充通道。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
【主权项】:
1.一种压力传感器封壳,包括:限定处理腔的封壳主体;由封壳主体支撑并暴露于处理腔的隔离器;具有传感器输出的压力传感器,所述传感器输出指示内腔中的压力,所述内腔通过所述隔离器与所述处理腔隔离;和从处理腔延伸到内腔的流体填充通道。
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