[发明专利]一种多晶硅开方机

摘要

本发明公开了一种多晶硅开方机，属于多晶硅专用切割设备技术领域。其包括机箱、设置在机箱的顶部的冷却液箱、放线机构、收线机构、移动装置、固定装置，移动装置包括X轴移动轨道、Y轴移动轨道、Z轴移动装置，X轴移动轨道与Y轴移动轨道垂直设置，固定装置通过3号电动缸及转动电机设置在Z轴移动装置上部，固定装置四方各设置有一组4号电动缸，用于对多晶硅进行固定；放线机构、收线机构分别设置在固定装置的两侧，放线机构、收线机构上绕置有金刚石线锯，金刚石线锯上方设置有冷却液管，冷却液管与冷却液箱连接，机箱底部设置有水泵，水泵与冷却液箱连接。本发明切割精度高、加工效率高。

主权项

1.一种多晶硅开方机，其特征在于：包括机箱(01)、冷却液箱(02)、放线机构(03)、收线机构(04)、移动装置(05)、固定装置(06)，所述冷却液箱(02)设置在所述机箱(01)的顶部，所述移动装置(05)设置在所述机箱(01)底部，所述移动装置(05)包括X轴移动轨道(07)、Y轴移动轨道(08)、Z轴移动装置(09)，所述X轴移动轨道(07)固定在所述机箱(01)底部，所述X轴移动轨道(07)与所述Y轴移动轨道(08)垂直设置，所述X轴移动轨道(07)一端设置有1号电动缸(10)，所述1号电动缸(10)的运行方向与所述X轴移动轨道(07)相同，所述Y轴移动轨道(08)底部设置有1号滑块(11)，所述1号滑块(11)设置在所述X轴移动轨道(07)内部，所述1号电动缸(10)与所述1号滑块(11)相连接，所述Y轴移动轨道(08)一端设置有2号电动缸(12)，所述2号电动缸(12)的运行方向与所述Y轴移动轨道(08)相同，所述Z轴移动装置(09)底部设置有2号滑块(13)，所述2号滑块(13)设置在所述Y轴移动轨道(08)内部，所述2号电动缸(12)与所述2号滑块(13)相连接，所述Z轴移动装置(09)上竖向设置有3号电动缸(14)，所述3号电动缸(14)上固定有转动电机(15)，所述转动电机(15)上安装有所述固定装置(06)，所述固定装置(06)四方各设置有一组4号电动缸(16)；所述放线机构(03)、收线机构(04)分别设置在所述固定装置(06)的两侧，所述放线机构(03)、收线机构(04)上绕置有金刚石线锯(17)，可在所述放线机构(03)、收线机构(04)的带动下对所述固定装置(06)上固定的多晶硅进行切割，所述金刚石线锯(17)上方设置有冷却液管(18)，所述冷却液管(18)与所述的冷却液箱(02)连接，所述机箱(01)底部设置有水泵(19)，所述水泵(19)与所述的冷却液箱(02)连接。