[发明专利]磁阻式随机存取存储器及其制作方法有效
申请号: | 201810076594.2 | 申请日: | 2018-01-26 |
公开(公告)号: | CN110085737B | 公开(公告)日: | 2022-11-08 |
发明(设计)人: | 林宏展;王裕平;陈宏岳 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L43/08 | 分类号: | H01L43/08;H01L43/12;H01L27/22 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种磁阻式随机存取存储器及其制作方法,其中该磁阻式随机存取存储器包含一导电插塞位于基底内,其中该导电插塞的上缘一侧具有向外延伸的凸出部位,该上缘的另一侧具有向内凹入的凹陷部位;以及一存储单元,其包含一下电极与该导电插塞电连接、一磁隧穿接面位于该下电极上、以及一上电极位于该磁隧穿接面上,其中该存储单元的底面与该导电插塞的顶面完全重叠。 | ||
搜索关键词: | 磁阻 随机存取存储器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种磁阻式随机存取存储器,其特征在于,包含:基底;导电插塞,位于该基底内,其中该导电插塞的上缘的一侧具有向外延伸的凸出部位,该上缘的另一侧具有向内凹入的凹陷部位;以及磁性存储单元,包含下电极与该导电插塞电连接、磁隧穿接面位于该下电极上、以及上电极位于该磁隧穿接面上,其中该磁性存储单元的底面与该导电插塞的顶面完全重叠。
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