[发明专利]用于硅微通道板基体整体氧化防变形约束装置有效
| 申请号： | 201810076698.3 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108281338B | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 王国政;袁云龙;王蓟;杨继凯;端木庆铎 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | H01J9/12 | 分类号： | H01J9/12;B81C1/00 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 王丹阳 |
| 地址： | 130022 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 用于硅微通道板基体整体氧化防变形约束装置属于光电子器件技术领域。现有技术无法避免硅微通道板基体氧化后发生变形。本发明之防变形约束装置其特征在于，左右两个护板夹持一个保持环，护板、保持环材质均为蓝宝石晶体，护板、保持环均为圆片状，且外径相等，护板中间区域均匀分布有气孔，护板的厚度为2～3mm，保持环的内径为25～30mm、厚度为350～400μm；卧式卡座呈长槽形，在槽内横向间隔分布若干卡槽，卡槽的宽度比左右两个护板以及一个保持环的总厚度大20～30μm；立式压筒的裙部开有条形气孔；卧式卡座、立式压筒的材质均为石英玻璃；两个护板与一个保持环能够落入一个卡槽中，或者由上下两个立式压筒对压固定，此时两个立式压筒裙部相向排布。整体氧化后硅微通道板平面度公差小于10μm。 | ||
| 搜索关键词： | 护板 硅微通道 约束装置 板基体 防变形 卡槽 压筒 卡座 光电子器件 蓝宝石晶体 横向间隔 石英玻璃 条形气孔 中间区域 公差 板平面 长槽形 宽度比 圆片状 夹持 排布 裙部 相向 相等 变形 | ||
【主权项】：
1.一种用于硅微通道板基体整体氧化防变形约束装置，其特征在于，左右两个护板(1)夹持一个保持环(2)，将待氧化硅微通道板(8)放入保持环(2)，然后由左右两个护板(1)将保持环(2)、硅微通道板(8)一并夹持，护板(1)、保持环(2)材质均为蓝宝石晶体，护板(1)、保持环(2)均为圆片状，且外径相等，护板(1)中间区域均匀分布有气孔(3)，护板(1)的厚度为2～3mm，保持环(2)的内径为25～30mm、厚度为350～400μm；卧式卡座(4)呈长槽形，在槽内横向间隔分布若干卡槽(5)，卡槽(5)的宽度比左右两个护板(1)以及一个保持环(2)的总厚度大20～30μm；立式压筒(6)的裙部开有条形气孔(7)；卧式卡座(4)、立式压筒(6)的材质均为石英玻璃；两个护板(1)与一个保持环(2)能够落入一个卡槽(5)中，或者由上下两个立式压筒(6)对压固定，此时两个立式压筒(6)裙部相向排布。
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