[发明专利]微机械单振子三轴陀螺仪有效
| 申请号： | 201810077010.3 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108318018B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 黄占喜 | 申请（专利权）人： | 珠海全志科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5691 | 分类号： | G01C19/5691;G01C19/5776 |
| 代理公司： | 深圳市君之泉知识产权代理有限公司 44366 | 代理人： | 张丕阳 |
| 地址： | 519000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种微机械单振子三轴陀螺仪，包括一个环形振子(1)、四根支撑梁(3)和一个万向节(2)，万向节(2)设置于振子(1)中心，通过四根支撑梁(3)连接振子(1)和万向节(2)，振子(1)可在x轴和/或y轴上进行弹性振动，在振子(1)表面上设置有多个振子电极V |
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| 搜索关键词： | 微机 械单振子三轴 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种微机械单振子三轴陀螺仪，包括一个在x轴和y轴对称的环形振子(1)、多个支撑梁(3)和一个万向节(2)，所述万向节(2)设置于所述振子(1)中心，通过所述多个支撑梁(3)连接所述振子(1)和所述万向节(2)，所述振子(1)可在所述x轴和所述y轴上进行弹性振动，在所述振子(1)表面上设置有多个振子电极Vdc(12)，在所述振子电极Vdc(12)上方排布多个固定电极(4‑11)，所述振子电极Vdc(12)与其上方排布的所述多个固定电极(4‑11)一一对应，所述多个固定电极(4‑11)中部分是驱动电极(4‑7)，部分是检测电极(8‑11)，所述驱动电极(4‑7)和所述检测电极(8‑11)相互交替分布，所述检测电极(8‑11)用于检测振子(1)在所述x轴、所述y轴和z轴的角速度，所述驱动电极(4‑7)驱动所述振子(1)在所述x轴和所述y轴作一定频率的定频振动，所述振子(1)在所述x轴和所述y轴所作振动的振幅恒定，所述振子(1)在所述x轴和所述y轴所作振动的振动频率不同。
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