[发明专利]微机械单振子三轴陀螺仪的驱动和检测装置有效
| 申请号： | 201810077617.1 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108332733B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 黄占喜 | 申请（专利权）人： | 珠海全志科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5691 | 分类号： | G01C19/5691;G01C19/5776 |
| 代理公司： | 深圳市君之泉知识产权代理有限公司 44366 | 代理人： | 张丕阳 |
| 地址： | 519000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机械单振子三轴陀螺仪的驱动和检测装置，包括单振子三轴陀螺仪、驱动模块和检测模块，驱动模块、检测模块和陀螺仪之间电连接，陀螺仪包括振子(1)和驱动电极(4‑7)，振子(1)可在x轴和/或y轴上进行弹性振动，驱动电极(4‑7)和振子(1)构成x轴角振动谐振器和y轴角振动谐振器，驱动模块连接陀螺仪的驱动电极(4‑7)和振子(1)，驱动模块驱动振动谐振器作振幅恒定的同频振动，检测模块用于检测出陀螺仪的角速度输出量。本发明采用单振子三轴结构，可以实现陀螺仪的结构紧凑，使得陀螺仪体积小、检测的精度高和降低陀螺仪的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 械单振子三轴 陀螺仪 驱动 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微机械单振子三轴陀螺仪的驱动和检测装置，包括单振子三轴陀螺仪、驱动模块和检测模块，驱动模块、检测模块和陀螺仪之间电连接，陀螺仪包括振子(1)和驱动电极(4‑7)，所述振子(1)可在x轴和/或y轴上进行弹性振动，驱动电极(4‑7)和振子(1)构成x轴角振动谐振器(xResonator)和y轴角振动谐振器(yResonator)，驱动模块连接陀螺仪的驱动电极(4‑7)和振子(1)，所述驱动模块包括三个环路，其中，所述x轴角振动谐振器、跨阻放大器(TIA)和锁相环(PLL)构成第一环路，自动增益控制模块(AGC)、跨阻放大器TIA和所述x轴角振动谐振器构成的第二环路，自动增益控制(AGC)模块、跨阻放大器TIA和所述y轴角振动谐振器构成的第三环路，其中所述第一环路用于驱动所述x轴角振动谐振器和所述y轴角振动谐振器作同频振动，第二环路用于使x轴角振动谐振器和所述y轴角振动谐振器的振幅恒定，所述第一环路、第二环路和第三环路形成为闭环，所述三个环路之间电连接，所述检测模块用于检测出所述陀螺仪的角速度输出量。
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