[发明专利]微机械单振子三轴陀螺仪的驱动和检测装置有效
申请号: | 201810077639.8 | 申请日: | 2018-01-26 |
公开(公告)号: | CN108332732B | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 黄占喜 | 申请(专利权)人: | 珠海全志科技股份有限公司 |
主分类号: | G01C19/56 | 分类号: | G01C19/56 |
代理公司: | 深圳市君之泉知识产权代理有限公司 44366 | 代理人: | 张丕阳 |
地址: | 519000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种微机械单振子三轴陀螺仪的驱动和检测装置,包括单振子三轴陀螺仪、驱动模块和检测模块,驱动模块、检测模块和陀螺仪之间电连接,陀螺仪的驱动电极(4‑7)和振子(1)构成x轴角振动谐振器(xResonator)和y轴角振动谐振器(yResonator),驱动模块连接陀螺仪的驱动电极(4‑7)和振子(1),驱动模块包括两个环路,其中第一环路用于驱动所述x轴角振动谐振器(xResonator)作定频和定幅振动,第二环路用于驱动所述y轴角振动谐振器(yResonator)作定频和定幅振动,检测模块用于检测出所述陀螺仪的角速度输出量。本发明采用单振子三轴结构,可以实现陀螺仪的结构紧凑,使得陀螺仪体积小、检测的精度高和降低陀螺仪的制造成本。 | ||
搜索关键词: | 微机 械单振子三轴 陀螺仪 驱动 检测 装置 | ||
【主权项】:
1.一种微机械单振子三轴陀螺仪的驱动和检测装置,包括单振子三轴陀螺仪、驱动模块和检测模块,驱动模块、检测模块和陀螺仪之间电连接,陀螺仪包括振子(1)和驱动电极(4‑7),所述振子(1)可在x轴和/或y轴上进行弹性振动,所述驱动电极(4‑7)和所述振子(1)构成x轴角振动谐振器和y轴角振动谐振器,所述驱动模块连接所述陀螺仪的所述驱动电极(4‑7)和所述振子(1),所述驱动模块包括两个环路,其中,所述x轴角振动谐振器、跨阻放大器(TIA)、带通滤波器(BPF)和自动增益控制模块(AGC)构成第一环路,所述y轴角振动谐振器、跨阻放大器(TIA)、带通滤波器(BPF)和自动增益控制模块(AGC)构成的第二环路,其中所述第一环路用于驱动所述x轴角振动谐振器作定频和定幅振动,所述第二环路用于驱动所述y轴角振动谐振器作定频和定幅振动,所述x轴角振动谐振器的振动频率与所述y轴角振动谐振器的振动频率不同,所述x轴角振动谐振器和所述y轴角振动谐振器的振幅恒定,所述第一环路、第二环路形成为闭环,所述两个环路之间电连接,所述检测模块用于检测出所述陀螺仪的角速度输出量。
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