[发明专利]一种硒镓钡晶体生长的方法有效
申请号: | 201810077743.7 | 申请日: | 2018-01-26 |
公开(公告)号: | CN109137080B | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 姚吉勇;郭扬武;李壮;罗晓宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | C30B29/46 | 分类号: | C30B29/46;C30B11/00;C30B11/02 |
代理公司: | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人: | 陈琳琳;李彪 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种硒镓钡晶体生长的方法,旨在解决晶体生长中的易产生开裂、孪晶、组分偏析等问题,并提高晶体的利用率,获得长度40mm以上的光参量频率转换器件满足实验需求。具体步骤包括:1)生长坩埚预处理;2)籽晶和多晶原料配置;3)调节温场;4)晶体生长;5)降温。采用本发明方法生长的硒镓钡晶体具有缺陷少、红外波段吸收低等特点,还具有较高的利用率,可加工出长尺寸光参量频率转换器件,用作中远红外激光变频材料。 | ||
搜索关键词: | 一种 硒镓钡 晶体生长 方法 | ||
【主权项】:
1.一种硒镓钡晶体生长的方法,所述方法包括如下步骤:1)清洗并烘干晶体生长坩埚和石英管;2)选取硒镓钡籽晶放入晶体生长坩埚一端的籽晶槽中,再放入高纯硒镓钡多晶原料,然后将坩埚整体放置于石英管中,抽真空至≤10‑4Pa,用氢氧火焰熔封石英管;所述硒镓钡籽晶为近相位匹配方向θ=30‑60°,
截面直径4‑8mm,长度20‑50mm的圆柱形晶体;3)将上述密封的石英管放入垂直双温区管式生长炉中,垂直双温区管式生长炉从上到下依次为高温区、梯度区和低温区,装有籽晶和多晶料的坩埚一部分位于梯度区,另一部分位于高温区,且使籽晶的底端位于梯度区中间位置;以30~50℃/h的升温速率将高温区升至1040~1080℃,低温区升至960~970℃,梯度区温度以梯度18~25℃/cm进行调节,熔化所有多晶料,同时保证硒镓钡籽晶有10mm以上不被融化,恒温80‑100小时;4)维持石英管不动,而且炉体高温区、梯度区、低温区温度不变,以3~5mm/h的速度上升炉体,使低温区上移,融化的物料温度降低缓慢结晶,进行晶体生长;5)生长结束后,生长炉以1~10℃/h的速度降至850℃,再以10~50℃/h的速度降至室温;从坩埚中取出硒镓钡晶体即可。
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