[发明专利]反射型空间滤波器调试装置和方法有效
| 申请号： | 201810078320.7 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108563034B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 朱海东;郭爱林;胡恒春;谢兴龙;康俊;杨庆伟;高奇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/46 | 分类号： | G02B27/46;G01J5/08 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光学系统调试装置和方法，该装置由宽光谱光纤点光源、消色差准直透镜组、待调试的反射型空间滤波器、反射镜、消色差缩束透镜组、波前传感器、采集计算机和真空机组组成，利用哈特曼传感器实时检测反射型空间滤波器输出激光光束波前信息，并反馈精密调节空间滤波器输入和输出离轴抛物面镜，达到空间滤波器具备共焦共轴和输出高光束质量的特性。本发明具有结构简单，调试方便，实时反馈光束波前信息，波前测量精度高等特点，并可利用测量到的光束波前信息准确评估反射型空间滤波器的质量，提升反射型空间滤波器的调试水平，支撑反射型空间滤波器在超短超强等激光装置的技术应用。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 空间 滤波器 调试 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种反射型空间滤波器的调试装置，其特征在于：包括宽光谱光纤点光源(1)、消色差准直透镜组(2)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)、消色差缩束透镜组(11)、波前传感器(8)、采集计算机(9)和真空机组(10)；所述的宽光谱光纤点光源(1)位于消色差准直透镜组(2)的焦点处，所述的宽光谱光纤点光源(1)的发散光束经消色差准直透镜组(2)准直平行光后，经反射型空间滤波器(3)的真空密封输入窗口入射，到达反射型空间滤波器(3)的离轴抛物镜主镜，经离轴抛物镜主镜反射聚焦后再由离轴抛物镜次镜准直为平行光束，再经反射型空间滤波器(3)的真空密封输出窗口输出后，依次经所述的第一反射镜(4)和第二反射镜(5)反射后，射入所述的消色差缩束透镜组(11)，经该消色差缩束透镜组(11)使光束口径缩小后入射所述的波前传感器(8)，该波前传感器(8)与采集计算机(9)相连；所述的第一反射镜(4)和第二反射镜(5)通过调节俯仰和偏摆，可引导反射型空间滤波器(3)输出光束共轴入射消色差缩束透镜组(11)；所述的消色差缩束透镜组(11)将反射型空间滤波器(3)输出平行光光束口径缩小至波前传感器(8)采集口径，并使两者满足共轭成像关系；所述的真空机组(10)与反射型空间滤波器(3)相连，用于保持反射型空间滤波器(3)腔体内真空状态。
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