[发明专利]双向微位移放大型精密压电粘滑直线电机及其驱动方法在审
| 申请号： | 201810081821.0 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN108199614A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 程廷海;王舒扬;唐晚静;邢辉达;宁鹏;杨晨 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | H02N2/04 | 分类号： | H02N2/04;H02N2/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种双向微位移放大型精密压电粘滑直线电机及其驱动方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于采用单定子驱动所导致的输出推力小、行程短、精度低等技术问题。本发明由非对称式驱动组件、导轨组件、滑台、预紧力加载器和固定台组成。所述非对称式驱动组件通过产生侧向位移，调整其与导轨组件之间的接触正压力，以实现对摩擦力的综合调控；同时，本发明通过不同非对称电信号组合激励非对称式驱动组件，可实现输出加强型及运动急停型等多种驱动模式。本发明具有结构简单、负载能力强，且运动稳定等特点，在光学精密仪器和半导体加工等微纳精密驱动与定位领域中具有很好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 非对称式 驱动组件 压电 粘滑 导轨组件 直线电机 放大型 微位移 驱动 精密 光学精密仪器 半导体加工 侧向位移 负载能力 精密驱动 驱动模式 输出推力 运动稳定 综合调控 单定子 非对称 固定台 加载器 预紧力 正压力 滑台 急停 马达 输出 应用 | ||
【主权项】：
1.一种双向微位移放大型精密压电粘滑直线电机，其特征在于：该直线电机包括非对称式驱动组件（1）、导轨组件（2）、滑台（3）、预紧力加载器（4）和固定台（5）；其中，两个非对称式驱动组件（1）并联安装在固定台（5）前端部，导轨组件（2）安装在滑台（3）上，滑台（3）安装在固定台（5）上，预紧力加载器（4）安装在固定台（5）后端部；所述非对称式驱动组件（1）包括方形垫片（1‑1）、铰链固定螺栓（1‑2）、预紧螺钉（1‑3）、非对称式菱形放大机构（1‑4）和压电叠堆（1‑5）；所述方形垫片（1‑1）和预紧螺钉（1‑3）将压电叠堆（1‑5）固定在非对称式菱形放大机构（1‑4）内；所述铰链固定螺栓（1‑2）安装在非对称式菱形放大机构（1‑4）后端部；所述非对称式菱形放大机构（1‑4）可采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti‑35A钛合金或Ti‑13钛合金材料；所述非对称式菱形放大机构（1‑4）右侧设置有单棱边几何柔性铰链（1‑4‑1）；所述非对称式菱形放大机构（1‑4）两侧均设置有刚性连接梁Ⅰ（1‑4‑2），该刚性连接梁连接同侧的两个圆弧形柔性铰链（1‑4‑6）结构；所述非对称式菱形放大机构（1‑4）后端部设置有铰链固定螺栓安装孔（1‑4‑3），通过铰链固定螺栓（1‑2）与铰链安装螺纹孔（5‑6）的螺纹连接，固定非对称式菱形放大机构（1‑4）在滑台（3）上；所述非对称式菱形放大机构（1‑4）尾部设置有预紧螺钉安装螺纹孔（1‑4‑4），所述预紧螺钉（1‑3）通过预紧螺钉安装螺纹孔（1‑4‑4）实现对压电叠堆（1‑5）的轴向预紧；所述非对称式菱形放大机构（1‑4）设置有垫片限位槽（1‑4‑5）；所述非对称式菱形放大机构（1‑4）左侧设置有刚性连接梁Ⅱ（1‑4‑7），所述圆弧形柔性铰链（1‑4‑6）通过刚性连接梁Ⅱ（1‑4‑7）与前端部的横梁（1‑4‑9）进行连接；所述非对称式菱形放大机构（1‑4）顶部设置有半圆形驱动足（1‑4‑8）；所述非对称式菱形放大机构（1‑4）前端部设置有横梁（1‑4‑9）。
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