[发明专利]正交双驱动式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法在审
| 申请号： | 201810081855.X | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN108199615A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 程廷海;柳虹亮;唐晚静;宁鹏;陈昭旭;房彦旭 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | H02N2/04 | 分类号： | H02N2/04;H02N2/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种正交双驱动式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于采用单定子驱动所导致的输出推力小、行程短、精度低等技术问题。本发明由斜梯形正交驱动组件、动子组件、底座、位移调节器、燕尾平台和燕尾平台限位条组成。所述斜梯形正交驱动组件通过产生侧向位移，调整其与动子组件之间的接触正压力，以实现对摩擦力的综合调控；同时，本发明通过不同非对称电信号组合激励斜梯形正交驱动组件，可实现输出加强型及运动急停型等多种驱动模式。本发明具有输出推力大、精度高、行程大等特点，在光学精密仪器和半导体加工等微纳精密驱动与定位领域中具有很好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 正交 驱动组件 斜梯形 压电 粘滑 马达 动子组件 输出推力 双驱动式 驱动 燕尾 精密 光学精密仪器 半导体加工 位移调节器 侧向位移 精密驱动 驱动模式 综合调控 单定子 非对称 限位条 正压力 底座 急停 输出 应用 | ||
【主权项】：
1.一种正交双驱动式精密压电粘滑直线马达，其特征在于：该正交双驱动式精密压电粘滑直线马达由斜梯形正交驱动组件（1）、动子组件（2）、底座（3）、位移调节器（4）、燕尾平台（5）和燕尾平台限位条（6）组成；其中，两个以压电叠堆为驱动源的斜梯形正交驱动组件（1）通过底座（3）前端部对应的螺纹孔并联固定在底座（3）上，动子组件（2）安装在燕尾平台（5）上，位移调节器（4）安装在底座（3）后端部，燕尾平台（5）安装在底座（3）上且限定在燕尾平台限位条（6）内，燕尾平台限位条（6）固定在底座（3）上；所述斜梯形正交驱动组件（1）包括垫片（1‑1）、固定螺栓（1‑2）、预紧螺钉（1‑3）、菱形垂直铰链（1‑4）和压电叠堆（1‑5）；所述垫片（1‑1）和预紧螺钉（1‑3）将压电叠堆（1‑5）固定在菱形垂直铰链（1‑4）内；所述菱形垂直铰链（1‑4）可采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti‑35A钛合金或Ti‑13钛合金材料；所述菱形垂直铰链（1‑4）两侧均设置有刚性连接梁Ⅰ（1‑4‑1）和刚性连接梁Ⅱ（1‑4‑2），所述刚性连接梁Ⅰ（1‑4‑1）连接斜梯形运动转换梁（1‑4‑8）和几何形柔性铰链（1‑4‑6），所述刚性连接梁Ⅱ（1‑4‑2）连接同侧的两个几何形柔性铰链（1‑4‑6）；所述菱形垂直铰链（1‑4）后端部设置有固定螺栓安装孔（1‑4‑3），通过固定螺栓（1‑2）与铰链安装螺纹孔（3‑8）的螺纹连接将菱形垂直铰链（1‑4）直接固定在底座（3）上；所述菱形垂直铰链（1‑4）尾部设置有预紧螺钉安装螺纹孔（1‑4‑4），预紧螺钉（1‑3）安装在预紧螺钉安装螺纹孔（1‑4‑4）内；所述菱形垂直铰链（1‑4）设置有垫片槽（1‑4‑5）；所述菱形垂直铰链（1‑4）两侧设置有几何形柔性铰链（1‑4‑6）；所述菱形垂直铰链（1‑4）前端部设置有半圆形驱动足（1‑4‑7）；所述菱形垂直铰链（1‑4）设置有斜梯形运动转换梁（1‑4‑8）。
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