[发明专利]一种薄膜厚度与折射率同时测量的装置及测量方法有效
| 申请号： | 201810082442.3 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN108426530B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 杨军;卢旭;苑勇贵;李寒阳;马驰;祝海波;张建中;苑立波 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工程大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/45 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜厚度与折射率同时测量的装置及测量方法，属于光学测量领域。具体包括宽谱光源输出模块、窄线宽激光光源输出模块、膜厚测量探头模块、解调干涉仪模块以及采集与控制模块五部分。本发明将窄线宽激光光源输出模块的输出信号直接输入到解调干涉仪模块中，满足干涉信号共光路的同时避免了膜厚测量探头模块中激光透射光以及激光多次反射光对干涉信号质量的影响；通过控制膜厚测量探头尾纤的长度避免了膜厚测量探头模块中宽谱光透射光对特征信号峰识别的干扰。本发明实现不需标定样品标定即可对薄膜的厚度及折射率进行非接触测量，具有自校准、测量结果可溯源、稳定性高、特征信号识别简单等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 厚度 折射率 同时 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜厚度与折射率同时测量的装置及测量方法，其特征是：一种薄膜厚度与折射率同时测量的装置由宽谱光输出模块(1)、窄线宽激光输出模块(2)、膜厚测量探头模块(3)、解调干涉仪模块(4)以及采集与控制模块(5)五部分组成；宽谱光输出模块(1)输出光通过第1分束耦合器(6)被分为两路分别通过第1环形器(10)、第2环形器(13)进入膜厚测量探头模块(3)的第1测量探头(301)和第2测量探头(302)中；经由第1测量探头(301)和第2测量探头(302)的返回光通过第1环形器(10)、第2环形器(11)分别进入第1波分复用器(8)和第2波分复用器(9)的相关波长输入端；窄线宽激光输出模块(2)的输出光通过第2分束耦合器(7)被分为两路分别进入第1波分复用器(8)和第2波分复用器(9)的相关波长输入端；经过第1波分复用器(8)和第2波分复用器(9)分别合束后的两束光输入到解调干涉仪模块(4)中，通过解调干涉仪模块(4)中的第1解调干涉仪(4A)与第2解调干涉仪(4B)；通过第3波分复用器(11)和第4波分复用器(12)的不同波长的干涉信号分离后输入到采集与控制模块(5)中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工程大学，未经哈尔滨工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810082442.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
