[发明专利]一种应用于微纳操作的探针紧固装置

摘要

本发明公开了一种应用于微纳操作的探针紧固装置，包括前端紧固头、内套腔体、多幅卡爪、平面螺纹盘、驱动机构和底座，内套腔体的后端腔体内同轴心安装固定有前壳体，前壳体上设置有多个导轨，多幅卡爪通过多个导轨连接在前壳体上，前端紧固头穿过内套腔体与多幅卡爪的中心相对，前端紧固头用于探针穿过并进入多幅卡爪的中心；平面螺纹盘同轴心设置于前壳体的腔体内，多幅卡爪与平面螺纹盘螺纹啮合连接，导轨的方向指向平面螺纹盘的圆心，平面螺纹盘的后端连接有延伸轴，延伸轴与驱动机构连接，驱动机构固定于所述底座上。本发明通过以上结构达到对所用探针简化安装以及双重紧固的目的，实现了对整个探针的紧固和防止其游动旋转的技术效果。

主权项

1.一种应用于微纳操作的探针紧固装置，其特征在于，包括前端紧固头、内套腔体、多幅卡爪、平面螺纹盘、驱动机构和底座，所述内套腔体的后端腔体内同轴心安装固定有前壳体，所述前壳体上设置有多个导轨，所述多幅卡爪通过多个所述导轨连接在所述前壳体上，所述前端紧固头穿过所述内套腔体与所述多幅卡爪的中心相对，所述前端紧固头用于探针穿过并进入所述多幅卡爪的中心；所述平面螺纹盘同轴心设置于所述前壳体的腔体内，所述多幅卡爪与所述平面螺纹盘螺纹啮合连接，所述导轨的方向指向所述平面螺纹盘的圆心，所述平面螺纹盘旋转能使所述多幅卡爪同时向圆心移动，所述平面螺纹盘的后端连接有延伸轴，所述延伸轴同轴设置有轴承，所述延伸轴与所述驱动机构连接，所述驱动机构固定于所述底座上。