[发明专利]半导体装置及其制作方法在审
| 申请号： | 201810086147.5 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN108281447A | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 穆钰平;陈世杰;金子贵昭;黄晓橹 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杜文树 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及一种半导体装置，包括光敏元件的阵列和栅格。栅格布置在光敏元件的阵列上，并且对每个光敏元件分别限定了用于接收光的开口，并将每个光敏元件与相邻的光敏元件光学隔离。栅格包括光学隔离部分和在光学隔离部分上方的电介质部分，电介质部分限定了向开口外侧以一角度倾斜的侧壁。本公开还涉及一种形成半导体装置的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光敏元件 半导体装置 光学隔离 栅格 电介质 开口 角度倾斜 接收光 侧壁 制作 | ||
【主权项】：
1.一种半导体装置，其特征在于包括：光敏元件的阵列；和栅格，其布置在光敏元件的阵列上，并且对每个光敏元件分别限定了用于接收光的开口，并将每个光敏元件与相邻的光敏元件光学隔离，其中，所述栅格包括光学隔离部分和在光学隔离部分上方的电介质部分，电介质部分限定了向开口外侧以一角度倾斜的侧壁。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
