[发明专利]一种电磁感应定向凝固分离硅中硬质夹杂的方法有效
| 申请号： | 201810089314.1 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN108328618B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 石爽;姜大川;谭毅;张磊;李鹏廷 | 申请（专利权）人： | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 266200 山东省青岛市即墨市蓝色*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于多晶硅熔炼技术领域，特别涉及一种电磁感应定向凝固分离硅中硬质夹杂的方法。本发明选用多晶硅铸锭/提纯过程产生的顶皮、边皮料作为原料，利用电磁感应耦合定向凝固技术构建硬质夹杂的迁移和富集环境，使硬质夹杂最终被富集在铸锭表面，进而被切除，获得高纯硅锭，使用该方法去除硬质夹杂的效果显著。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电磁感应 定向 凝固 分离 硬质 夹杂 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电磁感应定向凝固分离硅中硬质夹杂的方法，其特征是：包括以下步骤：A.装料：在石英坩埚中装入含有SiC和Si3N4硬质夹杂的多晶硅铸锭或提纯过程产生的顶皮料，原料中硅的含量为90‐99wt％；B.升温阶段：装料完毕后，设备抽真空，待真空度达到15Pa后开始升温，初始阶段是功率升温，感应线圈的频率为3000Hz，功率变化为10kW(10min)‐30kW(60min)‐60kW(16min)‐100kW；当控温热电偶温度为1120℃时，控温方式由功率控制改为温度控制，此时开始以50L/min的速率充入氩气；当控温热电偶温度升高到1560℃，氩气气压达到60kPa时，升温阶段结束；C.熔化阶段：升温阶段结束50min后，将控温热电偶温度升到1564℃，在此温度下保温768min后硅料完全熔化；D.定向凝固阶段：硅料完全融化后，石英坩埚以2.5mm/min的速率下降60mm，在该过程中保持30L/min氩气流动状态；之后，将控温热电偶温度稳定在1478℃，以0.1mm/min的下拉速率进行定向凝固；E.冷却阶段：定向凝固结束后，以1.5℃/min的降温速率降温，冷却后将硅锭取出。
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