[发明专利]背照式图像传感器及其形成方法

摘要

一种背照式图像传感器及其形成方法，图像传感器包括：位于晶圆主体第一区内的第一感光器件和第一存储节点；位于晶圆主体第一区中的第一槽，第一槽位于第一存储节点上；位于第一槽中的第一附加反射结构，第一附加反射结构的侧壁表面与第一附加反射结构底部表面之间呈锐角，第一附加反射结构包括第一附加反射层，至少第一附加反射结构的侧壁表面暴露出第一附加反射层；位于第一槽底部的第一底反射层，第一底反射层至少位于第一附加反射结构侧部的第一槽底部，第一附加反射层和第一底反射层在第一槽底部表面的投影完全覆盖第一存储节点；位于第一槽中的第一透光层。所述背照式图像传感器的光电转换效率得到提高。

主权项

1.一种背照式图像传感器，其特征在于，包括：晶圆主体，晶圆主体包括主体背面，晶圆主体包括像素单元区，像素单元区包括第一区；位于晶圆主体第一区内的第一感光器件；位于晶圆主体第一区内的第一存储节点，且第一存储节点位于第一感光器件的侧部；位于晶圆主体第一区中的第一槽，第一槽的开口朝向主体背面，第一槽位于第一存储节点上且未延伸至第一感光器件上；位于第一槽中的第一附加反射结构，第一附加反射结构的侧壁表面与第一附加反射结构底部表面之间呈锐角，第一附加反射结构包括第一附加反射层，至少第一附加反射结构的侧壁表面暴露出第一附加反射层；位于第一槽底部的第一底反射层，第一底反射层至少位于第一附加反射结构侧部的第一槽底部，且第一附加反射层和第一底反射层在第一槽底部表面的投影完全覆盖第一存储节点；位于第一槽中的第一透光层，第一透光层位于第一附加反射结周围且位于第一底反射层上。