[发明专利]一种软质基体表面的碳基涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201810089810.7 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN108265291A | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 王永欣;孙尚琪;李金龙;鲁侠;曾志翔;王立平;薛群基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C16/26;C23C16/50;C23C16/32;C23C16/30 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种软质基体表面的碳基涂层，自基体(1)表面向上依次为过渡层(2)与耐磨层(3)；过渡层(2)由第一过渡层(21)、第二过渡层(22)与第三过渡层(23)组成，并且第一过渡层(21)是位于基体(1)表面的Cr层，第二过渡层(22)是位于第一过渡层(21)表面的CrC层，第三过渡层(23)是位于第二过渡层(22)表面的CrSiC层，耐磨层(3)是位于第三过渡层(23)表面的掺杂Cr元素的非晶碳薄膜层。该碳基涂层在保证硬度及耐磨性的前提下，能够在软质基体上具有优异的摩擦学承载能力，使膜基结合力提升1～3倍，对软质基体起到有效防护作用。 | ||
| 搜索关键词： | 过渡层 软质基体 碳基涂层 耐磨层 非晶碳薄膜 膜基结合力 耐磨性 承载能力 防护作用 制备 掺杂 摩擦 保证 | ||
【主权项】：
1.一种软质基体表面的碳基涂层，其特征是：自基体(1)表面向上依次为过渡层(2)与耐磨层(3)；过渡层(2)由第一过渡层(21)、第二过渡层(22)与第三过渡层(23)组成，其中第一过渡层(21)是位于基体(1)表面的Cr层，第二过渡层(22)是位于第一过渡层(21)表面的CrC层，第三过渡层(23)是位于第二过渡层(22)表面的CrSiC层，耐磨层(3)是位于第三过渡层(23)表面的掺杂Cr元素的非晶碳薄膜层。
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