[发明专利]接触式扫描测头、坐标测量装置、系统及方法有效
申请号: | 201810090724.8 | 申请日: | 2018-01-30 |
公开(公告)号: | CN108286937B | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 王红;郭伟青 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人: | 刘延喜 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明的一种接触式扫描测头,包括发出平行光的发光组件、设于发光组件出光侧的圆锥透镜、位于圆锥透镜上远离发光组件一侧的电荷耦合器件及用于与待测试件接触的测试接触件;测试接触件固接于发光组件上远离出光侧的一侧,发光组件上远离所述出光侧的一侧设有若干用于将发光组件连接于测量装置上的弹性件,各弹性件围绕测试接触件与发光组件的连接处设置;圆锥透镜中的锥顶指向发光组件,在测试过程中,使得发光组件发出的光经过圆锥透镜后在电荷耦合器件上的投影的图案发生变化,依据电荷耦合器件采集到的投影图案确定测试接触件的偏置,进而确定待测试件上测试点坐标值的变化,获得偏移量。 | ||
搜索关键词: | 接触 扫描 坐标 测量 装置 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种接触式扫描测头,其特征在于,包括发出平行光的发光组件、设于所述发光组件出光侧的圆锥透镜、位于所述圆锥透镜上远离所述发光组件一侧的电荷耦合器件及用于与待测试件接触的测试接触件;所述测试接触件固接于所述发光组件上远离所述出光侧的一侧,所述发光组件上远离所述出光侧的一侧设有若干用于将所述发光组件连接于测量装置上的弹性件,各所述弹性件围绕所述测试接触件与发光组件的连接处设置;所述圆锥透镜中的锥顶指向所述发光组件。
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