[发明专利]一种声表面波器件的声电放大效应检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201810091316.4 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN108318798B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 罗为;傅邱云;杨涛;郑志平 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学;深圳华中科技大学研究院 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 42201 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 廖盈春;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声表面波器件的声电放大效应检测装置及检测方法，检测装置包括：信号发生单元产生输入射频信号并传输至声表面波器件；气体腔通入不同化学性质的气体以改变声表面波器件中气敏薄膜的载流子浓度；信号检测单元接收声表面波器件在与气体腔中气体作用下对输入射频信号进行放大处理后输出的输出射频信号；以及信号处理单元，其输入端依次与信号发生单元的第二输出端和信号检测单元的输出端连接，根据输出射频信号与输入射频信号的比值关系来判断该声表面波器件是否存在对声表面波进行放大处理。该检测装置通过通入敏感气体，改变声表面波器件中气敏薄膜中载流子的浓度，更好的检测出声波面波器件中声电放大效应。 | ||
| 搜索关键词： | 声表面波器件 检测装置 输入射频信号 放大效应 声电 载流子 输出射频信号 信号发生单元 信号检测单元 放大处理 气体腔 薄膜 检测 信号处理单元 输出端连接 比值关系 敏感气体 气体作用 声表面波 输出端 输入端 波面 传输 输出 | ||
【主权项】：
1.一种声表面波器件的声电放大效应检测装置，其特征在于，包括：/n信号发生单元，其第一输出端同声表面波器件的输入端连接，用于产生输入射频信号并由第一输出端和第二输出端输出；/n气体腔，其内置入声表面波器件，向空气腔中通入不同浓度气体改变声表面波器件中气敏薄膜的载流子浓度；/n信号检测单元，其输入端同声表面波器件的输出端连接，用于分别接收声表面波器件在无气体腔中气体作用下对输入射频信号进行处理后输出的输出射频信号和有气体腔中气体作用下对输入射频信号进行处理后输出的输出射频信号；以及/n信号处理单元，其第一输入端与信号发生单元的第二输出端连接，其第二输入端与信号检测单元的输出端连接，用于根据所述信号检测单元输出的输出射频信号与所述信号发生单元产生的输入射频信号比值判断该声表面波器件是否产生了声放大现象；/n声表面波器件包括压电衬底及依次排列于压电衬底上的输入换能器、输出换能器和气敏薄膜；/n输入换能器，用于接收射频信号，并将射频信号转化为声表面波；/n气敏薄膜，用于施加电压并在气体作用下对声表面波进行放大处理；/n输出换能器，用于将放大后的声表面波转化为射频信号；/n气敏薄膜两端设置有电极。/n
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