[发明专利]一种用于溶胶凝胶法的快速成膜工艺有效
| 申请号： | 201810092468.6 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN108359964B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 曹雪;曹腊梅 | 申请（专利权）人： | 中国航发北京航空材料研究院 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 11008 中国航空专利中心 | 代理人： | 李建英<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 100095 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于溶胶凝胶技术领域，涉及一种用于溶胶凝胶法的快速成膜工艺。本发明通过降低加热过程中的基片温度，抑制薄膜干燥过程的溶剂挥发，有效减少失重，降低变形应力，同时辅助快速升温处理，最终实现溶胶薄膜的快速定型成膜。该工艺可以有效抑制薄膜干燥过程中的失重龟裂，能耗低且制备周期短，其工艺简单可控，不需要昂贵的设备，同时对需制的薄膜材料、尺寸以及衬底种类无特殊要求，适合于大规模的工业化制备与推广。 | ||
| 搜索关键词： | 溶胶凝胶法 薄膜干燥 快速成膜 失重 溶胶凝胶技术 薄膜材料 变形应力 加热过程 快速定型 快速升温 溶剂挥发 溶胶薄膜 有效减少 有效抑制 制备周期 龟裂 衬底 成膜 可控 制备 能耗 | ||
【主权项】：
1.一种用于溶胶凝胶法的快速成膜工艺，其特征在于，它包括以下步骤：/n(1)以无机物或金属醇盐作前驱体，在液相将这些原料均匀混合，并进行水解、缩合化学反应，配制成所需膜材的前驱体溶胶并进行陈化；/n(2)将步骤(1)中配制的溶胶涂覆在清洁的衬底基片上形成湿胶膜；/n(3)在室温条件下，将上述涂覆湿胶膜的基片置于陶瓷坩埚上，基片需完全覆盖坩埚口，使坩埚内部形成封闭的中空空间；涂覆湿胶膜的基片面积大于陶瓷坩埚开口的面积，随后一并放入加热炉腔体中进行300～600℃的快速加热处理，升温速率大于50℃/min，使其干燥定型成膜，随后冷却至室温取出，即可得到所需的薄膜材料。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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