[发明专利]一种快刀伺服装置

摘要

本发明涉及一种快刀伺服装置，包括电机以及连接该电机并通过该电机动子驱动气浮导轨实现前后移动的气浮装置；电机为音圈电机，音圈电机包括定子、动子，其中定子设置在动子内部，定子一端连接有定子连接件；气浮装置包括底座、气浮轴承、气浮导轨、动子连接件，其中气浮轴承固定设置在底座上，气浮导轨设置在气浮轴承上，动子连接件设置在气浮导轨的一端；动子和气浮导轨之间还设置有隔热垫片，并通过埋入动子的多个螺钉依次连接隔热垫片、动子连接件和气浮导轨；动子外侧还设置有一水冷装置；气浮装置还包括上罩，上罩上设置有多个冷却气接头，冷却气接头延伸至气浮装置内。

主权项

1.一种快刀伺服装置，其特征在于：包括电机以及连接该电机并通过该电机动子驱动气浮导轨实现前后移动的气浮装置；所述电机为音圈电机，所述音圈电机包括定子(3)、动子(5)，其中所述定子(3)设置在所述动子(5)内部，所述定子(3)一端连接有定子连接件(12)；所述气浮装置包括底座(18)、气浮轴承(17)、气浮导轨(16)、动子连接件(15)，其中所述气浮轴承(17)固定设置在所述底座(18)上，所述气浮导轨(16)设置在所述气浮轴承(17)上，所述动子连接件(15)设置在所述气浮导轨(16)的一端；所述动子(5)和气浮导轨(16)之间还设置有隔热垫片(14)，并通过埋入所述动子(5)的多个螺钉依次连接所述隔热垫片(14)、动子连接件(15)和气浮导轨(16)；所述定子(3)外侧还设置有一水冷套(6)，所述水冷套(6)外侧设置有水冷外壳(13)，所述水冷套(6)上开设置有螺纹凹槽(61)，所述水冷外壳(13)上设置有两个冷却水接头(4)，分别位于所述水冷外壳(13)的两端并从所述水冷外壳(13)延伸至所述螺纹凹槽(61)中；所述气浮装置还包括上罩(10)，所述上罩(10)上设置有多个冷却气接头(7)，所述冷却气接头(7)延伸至所述气浮装置内；所述上罩(10)内位于所述气浮导轨(16)上方还设置有一光栅尺(8)，所述光栅尺(8)上设置有一用于读取所述光栅尺(8)数值的光栅尺读数头(9)。