[发明专利]一种FTO衬底上自组装CuO纳米片的可见光电探测器的制备方法有效

专利信息
申请号: 201810095443.1 申请日: 2018-01-31
公开(公告)号: CN108091732B 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: 罗敏;钱昊宇;夏炜炜;曾祥华;王强;王彩霞 申请(专利权)人: 扬州大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/101;H01L31/032;B82Y30/00
代理公司: 扬州苏中专利事务所(普通合伙) 32222 代理人: 许必元
地址: 225009 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种FTO衬底上自组装CuO纳米片的可见光电探测器的制备方法,制作时,(1)使用尺寸FTO作为衬底,用等离子体清洗机亲水处理;(2)选取Cu(NO3)2粉末溶于去离子水中配置成0.12mol/L的Cu(NO3)2溶液,搅拌均匀后加入氨水,得到第一混合溶液;(3)FTO浸入第一混合溶液,混合成第二混合溶液,将第二混合溶液在低温下自然热蒸发2~3小时,然后将第二混合溶液自然冷却至室温,把沉积上Cu(OH)2的FTO用去离子水与无水乙醇混合溶液超声后置于烘箱干燥,得到干燥后的FTO;(4)将FTO退火,得到FTO衬底上自组装CuO纳米片的可见光电探测器。通过本发明,首次合成具有较高光电响应的FTO‑CuO异质结构,合成温度低且产量大,具有较大的比表面积和可见光吸收效率,且光电响应性能稳定。
搜索关键词: 混合溶液 衬底 光电探测器 纳米片 自组装 光电响应 制备 等离子体清洗机 氨水 退火 可见光吸收 烘箱干燥 亲水处理 去离子水 首次合成 无水乙醇 异质结构 浸入 热蒸发 超声 水中 沉积 离子 合成 配置 制作
【主权项】:
1.一种FTO衬底上自组装CuO纳米片的可见光电探测器的制备方法,其特征是,包括以下步骤:(1)使用尺寸FTO作为衬底,将FTO用等离子体清洗机亲水处理5~10分钟,FTO的尺寸为1cm×1cm;(2)选取Cu(NO3)2粉末溶于去离子水中配置成0.12mol/L的Cu(NO3)2溶液,搅拌均匀后加入氨水,氨水与去离子水的比例为1:20,得到第一混合溶液;(3)将经步骤(1)处理后的FTO浸入经步骤(2)得到的第一混合溶液,混合成第二混合溶液,将第二混合溶液在低温下自然热蒸发2~3小时,然后将第二混合溶液自然冷却至室温,把沉积上Cu(OH)2的FTO用去离子水与无水乙醇混合溶液超声后置于烘箱干燥,得到干燥后的FTO;(4)将干燥后的FTO置于马弗炉中退火,得到FTO衬底上自组装CuO纳米片的可见光电探测器。
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