[发明专利]一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光方法

摘要

本发明公开了一种高效超精密剪切增稠‑化学协同抛光方法，包括如下步骤：1）将工件固定在实施设备的抛光固动盘上；2）配制高效超精密剪切增稠‑化学协同抛光液，抛光液包括抛光磨粒或微粉、剪切增稠增强相、水及绿色化学环保物质；3）将配制的抛光液添加到防尘罩内，开启抛光液循环装置，使得抛光液在经抛光工具供给至工件表面；4）开启驱动装置及驱动机构，使得抛光工具相对于工件运动，对工件的加工表面进行抛光。本发明利用液流边界主动约束与抛光液流流动主动控制、剪切增稠与绿色化学作用协同，提高加工效率、精度，并扩展可加工材料及面形。

主权项

1.一种高效超精密剪切增稠‑化学协同抛光方法，其实施设备包括抛光工具、抛光工具夹具、抛光固动盘、防尘罩及抛光液循环装置，所述抛光固动盘安装在防尘罩内，抛光固动盘用于安装工件，抛光固动盘与驱动机构连接；所述的防尘罩上设有抛光工具夹具，抛光工具安装在抛光工具夹具上，抛光工具夹具顶部设有驱动装置，驱动装置与抛光工具连接；抛光工具设置在防尘罩内，位于工件夹具的正上方；防尘罩底部设有抛光液出口；所述的抛光工具包括抛光液性状调节室和中空管，中空管上端与抛光液性状调节室出口连接，抛光液性状调节室进口与抛光液循环装置的出口连接，抛光液循环装置的进口与抛光液出口连接，中空管上设有温度调节器；所述的抛光工具的下端处设有凹腔，凹腔内设有液流边界约束机构，液流边界约束机构能够主动约束液流并吻合工件面形；包括如下步骤：（1）将工件固定在实施设备的抛光固动盘上；（2）配制抛光液，抛光液成份包括以下质量百分比的组分：抛光磨粒或微粉10wt.%‑20wt.%、剪切增稠增强相20wt.%‑30wt.%、水39wt.%‑50wt.%及绿色化学环保物质1wt.%‑26wt.%，先将抛光磨粒或微粉与剪切增稠增强相在混料机中充分混合，随后，将抛光磨粒或微粉与剪切增稠增强相的混合物加入水中，并搅拌均匀，再将绿色化学环保物质混入，制成剪切增稠‑化学协同抛光液；（3）将配制的抛光液添加到防尘罩内，开启抛光液循环装置，使得抛光液在经抛光工具供给至工件表面，并通过中空管上的温度调节器调节工作区抛光液的温度；（4）开启驱动装置及驱动机构，使得抛光工具相对于工件运动，对工件的加工表面进行抛光。