[发明专利]一种MEMS器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201810096459.4 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN110092345B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 胡永刚;周国平;夏长奉 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS器件及其制备方法，所述MEMS器件包括：基底，所述基底包括测试区与非测试区，所述测试区与非测试区之间设有挖空的隔离槽，所述隔离槽环绕所述测试区设置；连接结构，所述测试区通过所述连接结构与所述非测试区相连接，所述连接结构为薄膜结构或硅悬臂梁结构。上述MEMS器件，设有隔离槽，该隔离槽环绕设置于测试区外边，其测试区通过且仅通过特定的连接结构与基底材料的其他区域(即非测试区)相连接。采用上述结构，该连接结构不会将非测试区形变形成的力传递到测试区，以消除非测试区的形变对上述MEMS器件测试时的影响，使测试结果更准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件包括：基底，所述基底包括测试区与非测试区，所述测试区与所述非测试区之间设有至少一层挖空的隔离槽，所述隔离槽环绕所述测试区设置；连接结构，所述测试区通过所述连接结构与所述非测试区相连接，所述连接结构为薄膜结构或悬臂梁结构。
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