[发明专利]航空用螺栓表面耐磨防锁死Ni-AgPd复合涂层的制备方法有效

专利信息
申请号: 201810097027.5 申请日: 2018-01-31
公开(公告)号: CN108103462B 公开(公告)日: 2019-11-12
发明(设计)人: 呼丹;高广睿;王宝云;屈静;李超众;颜学柏;李争显 申请(专利权)人: 西安赛福斯材料防护有限责任公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/54;C23C28/02
代理公司: 西安创知专利事务所 61213 代理人: 谭文琰
地址: 710200 陕西省西安市西安经*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种航空用螺栓表面耐磨防锁死Ni‑AgPd复合涂层的制备方法,该方法为:一、对螺栓进行抛光和清洗;二、对螺栓进行喷砂处理;三、将螺栓放入真空腔室内,再将Ni靶和AgPd靶分别安装在电弧离子镀的阴极靶位,启动阴极Ni靶电弧轰击螺栓,溅射清洗除去螺纹表面的钝化层;四、启动阴极Ni靶沉积Ni过渡层;五、开启AgPd靶电弧轰击螺栓沉积AgPd涂层,最后在螺栓的螺纹表面得到Ni‑AgPd复合涂层。本发明利用电弧离子镀技术在航空用不锈钢/钛合金螺栓表面制备出均匀致密并兼具良好减摩作用的Ni‑AgPd复合涂层,通过调节真空度、电弧电流大小以及镀膜时间保证AgPd涂层中Pd的含量稳定在18%~23%从而使Ni‑AgPd涂层的防锁死性能达到最优。
搜索关键词: 螺栓 复合涂层 螺栓表面 航空用 制备 电弧 阴极 螺纹表面 防锁死 耐磨 沉积 轰击 电弧离子镀技术 电弧离子镀 电弧电流 含量稳定 溅射清洗 均匀致密 喷砂处理 阴极靶位 钝化层 过渡层 真空腔 钛合金 抛光 镀膜 放入 减摩 不锈钢 清洗 室内 保证
【主权项】:
1.一种航空用螺栓表面耐磨防锁死Ni‑AgPd复合涂层的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤一、螺栓抛光及清洗:采用振动抛光机对螺栓进行振动抛光,然后依次采用工业除油剂、无水乙醇和去离子水进行超声清洗,每次清洗的时间均为5min~10min,超声清洗过程中控制温度为15℃~40℃;步骤二、螺纹喷砂:对步骤一中超声清洗后烘干的螺栓进行喷砂处理;步骤三、螺栓表面溅射清洗:将螺栓放入多弧离子镀膜设备的真空腔室,再将Ni靶和AgPd靶分别安装在多弧离子镀膜设备的阴极靶位,然后抽真空使真空腔室内的压强至0.03Pa~0.1Pa,控制真空腔室内的温度为150℃~250℃,螺栓加负偏压为‑400~‑1000V,并启动阴极Ni靶电弧轰击螺栓的螺纹表面5min~10min,弧电流为50A~100A,除去螺纹表面的钝化层;所述AgPd靶由质量百分含量为84%的Ag和质量百分含量为16%的Pd组成;步骤四、沉积Ni过渡层:向所述真空腔室通入氩气,调整工作气压为0.1Pa~0.5Pa,开启Ni靶电弧轰击步骤三中除去螺纹表面钝化层的螺栓,控制真空腔室内的温度为150℃~350℃,螺栓所加负偏压为‑80~‑350V,弧电流为70A~95A,沉积时间为15min~50min,制备得到厚度为0.8μm~3μm的Ni过渡层;步骤五、沉积AgPd涂层:调节螺栓基体上所加负偏压至‑100~‑350V,通入氩气使真空腔室的真空度为0.2Pa~0.8Pa,开启AgPd靶电弧轰击步骤四中镀有Ni过渡层的螺栓,弧电流为70A~120A,控制真空腔室内温度为150℃~350℃,电弧镀膜的时间为20min~80min,得到厚度为0.5μm~2μm的AgPd涂层,最后在螺栓的螺纹表面得到Ni‑AgPd复合涂层;所述AgPd涂层中Pd的质量百分含量为18%~23%。
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