[发明专利]一种密封接头、真空检漏装置及检测方法有效
申请号: | 201810097362.5 | 申请日: | 2018-01-31 |
公开(公告)号: | CN108362441B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 张果;蓝峰;李健;瞿骑龙;雷福元 | 申请(专利权)人: | 爱发科东方真空(成都)有限公司 |
主分类号: | G01M3/02 | 分类号: | G01M3/02;F16J15/02 |
代理公司: | 成都天既明专利代理事务所(特殊普通合伙) 51259 | 代理人: | 李钦;彭立琼 |
地址: | 611731 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及一种真空检漏设备中的密封接头,包括充气通道,所述充气通道下部设置有隔离室,以及内置于充气通道和隔离室内的隔离体,所述隔离体包括隔离管和固连在隔离管底部的隔离塞;所述隔离管上部与充气通道相通,下部与隔离室相通;在隔离室下方的充气通道壁面上设置有密封部件,所述隔离塞能与密封部件形成密封面,并能在所述密封部件与隔离室之间上下移动。本发明密封接头既能密封工件接管,又能确保充气通道的检漏气体能够顺利的进入工件的检测腔,使密封头及充气管路内残留的氦气无法逸散到真空箱内,从而减少和避免了对真空箱本底以及A腔内漏检测的影响。本发明还涉及一种真空检漏装置及其检测方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 密封 接头 真空 检漏 装置 检测 方法 | ||
【主权项】:
1.一种密封接头,包括充气通道,其特征在于,所述充气通道下部设置有隔离室,以及内置于充气通道和隔离室内的隔离体,所述隔离体包括隔离管和固连在隔离管底部的隔离塞;所述隔离管上部与充气通道相通,下部与隔离室相通;在隔离室下方的充气通道壁面上设置有密封部件,所述隔离塞能与密封部件形成密封面,隔离塞能在所述密封部件与隔离室之间上下移动。
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