[发明专利]被加工物的处理装置有效
| 申请号： | 201810100701.0 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN108389771B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 山口伸;三森章祥;有田毅彦;村上幸一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 11322 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种作为蒸发器的设置于被加工物的载置台的内部的制冷剂的流路，其能够实现制冷剂的压力的均匀性和高的热排出性。在一个实施方式中，冷却台包括第1部分第2部分、第1流路、第2流路和第3流路，静电吸盘设置在第1部分上，第1部分设置在第2部分上，第1流路设置于第1部分内，第2流路设置于第2部分内，第3流路与第1流路和第2流路连接，冷却单元与第1流路和第2流路连接，第1流路沿静电吸盘在第1部分内延伸，第2流路沿静电吸盘在第2部分内延伸，从冷却单元输出的制冷剂，依次过第1流路、第3流路、第2流路输入到冷却单元。 | ||
| 搜索关键词： | 流路 制冷剂 静电吸盘 冷却单元 被加工物 处理装置 均匀性 冷却台 载置台 蒸发器 延伸 热排 输出 | ||
【主权项】：
1.一种被加工物的处理装置，其特征在于，包括：/n腔室主体；/n载置台，其设置于所述腔室主体的内部，用于载置所述被加工物；和/n将制冷剂输出到所述载置台的冷却单元，/n所述载置台包括：/n冷却台，从所述冷却单元输出的所述制冷剂在所述冷却台中流动；和/n设置在所述冷却台上的静电吸盘，/n所述冷却台包括第1部分、第2部分、第1流路、第2流路和第3流路，/n所述静电吸盘设置在所述第1部分上，/n所述第1部分设置在所述第2部分上，/n所述第1流路包括第1端部和第2端部，且设置在所述第1部分内，/n所述第2流路包括第3端部和第4端部，且设置在所述第2部分内，/n所述第3流路与所述第1流路的所述第1端部和所述第2流路的所述第3端部连接，且在该第1端部与该第3端部之间延伸，/n所述冷却单元与所述第1流路的所述第2端部和所述第2流路的所述第4端部连接，/n所述第1流路沿所述静电吸盘在所述第1部分内延伸，/n所述第2流路沿所述静电吸盘在所述第2部分内延伸，/n从所述冷却单元输出的所述制冷剂输入到所述第1流路的所述第2端部，依次流过该第1流路、所述第3流路、所述第2流路，从该第2流路的所述第4端部输入到所述冷却单元，/n所述处理装置还包括压力调节装置，/n所述冷却台还包括第1传热空间，/n所述第1传热空间在所述第1部分与所述第2部分之间沿所述静电吸盘延伸，/n所述压力调节装置与所述第1传热空间连接，用于调节该第1传热空间内的压力。/n
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