[发明专利]一种检测消影等级的装置及其控制方法有效
| 申请号： | 201810101455.0 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN108303373B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 阳清;孟庆超;杨文娟;谈宜川;马力;王若鹏;尹奇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/27 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种检测消影等级的装置及其控制方法，该装置，包括：光源，位于光源的光学路径上的光学元件，光谱检测器，以及与光谱检测器电信号连接的控制器；其中，光学元件，用于将光源出射的光线入射至图案区，并将图案区的反射光入射至光谱检测器，以及将光源出射的光线入射至沟道区，并将沟道区的反射光入射至光谱检测器；光谱检测器，用于检测图案区的反射光的光坐标，并将图案区的反射光的光坐标发送至控制器，以及检测沟道区的反射光的光坐标，并将沟道区的反射光的光坐标发送至控制器；控制器，用于根据图案区和沟道区的反射光的光坐标，确定待测基板的消影等级。该装置实现了宏观现象的数据体现，可以准确的得到待测基板的消影等级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 等级 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测消影等级的装置，其特征在于，包括：光源，位于所述光源的光学路径上的光学元件，光谱检测器，以及与所述光谱检测器电信号连接的控制器；其中，所述光学元件，用于将所述光源出射的光线入射至待测基板的图案区，并将所述图案区的反射光入射至所述光谱检测器，以及将所述光源出射的光线入射至所述待测基板的沟道区，并将所述沟道区的反射光入射至所述光谱检测器；所述图案区为具有透明材料的区域；所述光谱检测器，用于检测所述图案区的反射光的光坐标，并将所述图案区的反射光的光坐标发送至所述控制器，以及检测所述沟道区的反射光的光坐标，并将所述沟道区的反射光的光坐标发送至所述控制器；所述控制器，用于接收所述图案区和所述沟道区的反射光的光坐标，并根据所述图案区和所述沟道区的反射光的光坐标，确定所述待测基板的消影等级。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810101455.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
