[发明专利]用于激光微孔加工的光束扫描系统和光束扫描方法在审
| 申请号： | 201810103003.6 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN108247200A | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 姜宝宁;王宁;王自;杨小君;贺斌;康伟;彭东东 | 申请（专利权）人： | 西安中科微精光子制造科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/082 | 分类号： | B23K26/082;B23K26/382 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 710119 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于激光微孔加工的光束扫描系统和光束扫描方法，该光束扫描系统包括：第一二维光束反射模块，第二二维光束反射模块，第一二维光束反射模块驱动控制模块，第二二维光束反射模块驱动控制模块，协同控制模块，被配置成控制第一二维光束反射模块驱动控制模块、第二二维光束反射模块驱动控制模块分别驱动第一二维光束反射模块、第二二维光束反射模块按照预设的扫描轨迹进行运动，使得入射的激光光束依次通过第一二维光束反射模块、第二二维光束反射模块、聚焦系统后对XY二维平面进行微孔加工，本光束扫描系统可大幅度提升现有光束扫描模块的加工效率，加工精度，稳定性以及设备寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 二维光束 反射模块 光束扫描系统 驱动控制模块 激光微孔加工 光束扫描 光束扫描模块 协同控制模块 二维平面 激光光束 加工效率 聚焦系统 扫描轨迹 设备寿命 微孔加工 入射 预设 驱动 配置 加工 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光微孔加工的光束扫描系统，包括发射激光束的激光器，其特征在于，还包括：第一二维光束反射模块，用于对入射的激光光束进行反射扫描；第二二维光束反射模块，用于对由所述第一二维光束反射模块反射出的激光光束进行反射扫描；第一二维光束反射模块驱动控制模块，被配置成驱动所述第一二维光束反射模块；第二二维光束反射模块驱动控制模块，被配置成驱动所述第二二维光束反射模块；聚焦系统；协同控制模块，分别与所述第一二维光束反射模块驱动控制模块、第二二维光束反射模块驱动控制模块电性连接，实现所述第一二维光束反射模块与所述第二二维光束反射模块的协同控制。
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