[发明专利]一种工件清洗方法在审
| 申请号： | 201810103910.0 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN108284107A | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 安徽静斯德科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王戈 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市包河区徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种工件清洗方法。该方法包括：将工作气体通入所述等离子体发生器内，并将等离子体发生器内的气体抽出，使所述等离子体发生器内的气压在预设范围内；启动电源，使留在等离子体发生器内的工作气体放电，产生等离子体对所述待清洗的工件进行清洗；预设时间后，向等离子体发生器内通入空气，使等离子体发生器内部恢复常压。本发明提供的工件清洗方法，能够避免产生废水，减少环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体发生器 工件清洗 工作气体 预设 清洗 等离子体 启动电源 通入空气 常压 放电 气压 抽出 废水 恢复 | ||
【主权项】：
1.一种工件清洗方法，其特征在于，包括：将工作气体通入所述等离子体发生器内，并将等离子体发生器内的气体抽出，使所述等离子体发生器内的气压在预设范围内；启动电源，使留在等离子体发生器内的工作气体放电，产生等离子体对所述待清洗的工件进行清洗；等离子体功率密度为0～100W/cm3；预设时间后，向等离子体发生器内通入空气，使等离子体发生器内部恢复常压。
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