[发明专利]感光性树脂组合物、感光性干膜、感光性树脂涂层和图案形成方法有效
| 申请号： | 201810104013.1 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN108388082B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 丸山仁;近藤和纪;柳泽秀好 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 杜丽利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为感光性树脂组合物、感光性干膜、感光性树脂涂层和图案形成方法。将包括(A)有机硅改性的聚苯并噁唑树脂和(B)在曝光至波长190至500nm的辐射时分解产生酸的光致产酸剂的感光性树脂组合物涂布至基材上，以形成厚涂层，将该涂层曝光至辐射，烘焙，并显影以形成图案。所述树脂涂层能够形成精细图案并且具有改进的耐开裂性和其它膜性质，和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 涂层 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.感光性树脂组合物，其包括(A)包含具有式(1a)的重复单元和具有式(1b)的重复单元的有机硅改性的聚苯并噁唑树脂和(B)在曝光至波长190至500nm的辐射时分解产生酸的光致产酸剂，![]()
其中，R1至R4各自独立地为C1‑C8一价烃基，其可以包含缩水甘油基、丙烯酰基或甲基丙烯酰基基团，m和n各自独立地为0至300的整数，R5为直链、支链或环状的C1‑C8亚烷基或亚苯基，a和b为以下范围的正数：0
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