[发明专利]加速度和角速度谐振检测集成结构及相关MEMS传感器设备在审
| 申请号： | 201810104997.3 | 申请日： | 2013-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN108413954A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | C·科米;A·科里利亚诺;L·巴尔达萨雷 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712;G01P15/097;G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本公开涉及一种集成检测结构和包括该集成检测结构的电子设备。集成检测结构包括：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性质量体 旋转轴 谐振器元件 集成检测 平行 线性运动 成对 挠曲 平移 谐振 弹性耦合 电子设备 集成结构 驱动电极 谐振检测 旋转检测 地锚 基板 扭转 检测 | ||
【主权项】：
1.一种集成检测结构，包括：基板；耦合到所述基板的第一锚固件、第二锚固件和第三锚固件；耦合到所述第一锚固件和所述第二锚固件的第一弹性元件和第二弹性元件；可移动质量体，悬置于所述基板之上并且由所述第一弹性元件和所述第二弹性元件耦合到所述第第一锚固件和所述第二锚固件；第一谐振器元件，具有耦合到所述第一弹性元件的第一端以及耦合到所述第三锚固件的第二端，所述第一谐振器元件由所述第一弹性元件被弹性地耦合到所述可移动质量体；第二谐振器元件，具有耦合到所述第二弹性元件的第一端以及耦合到所述第三锚固件的第二端，所述第二谐振器元件由所述第二弹性元件被弹性地耦合到所述可移动质量体；以及驱动电极组，被配置用于驱动所述可移动质量体在第一平面上移动并且被配置用于驱动所述第一谐振器元件和所述第二谐振器元件以第一固有谐振频率谐振，其中所述第一谐振器元件和所述第二谐振器元件被配置用于以第二固有谐振频率谐振，所述第二固有谐振频率响应于所述集成检测结构被旋转而不同于所述第一固有谐振频率。
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