[发明专利]曝光装置

摘要

提供能够使工作台平台的微小的振动迅速衰减的曝光装置。曝光装置的一方式具备：框架；工作台平台，相对于框架升降自如，在与升降方向交叉的面内方向上扩展；可动工作台，搭载于工作台平台，在面内方向上移动自如；曝光部，对载置于可动工作台的曝光对象照射光来进行曝光；移动机，使可动工作台相对于工作台平台在面内方向上移动；升降机，使搭载有可动工作台的工作台平台相对于框架升降；减振器，与框架和工作台平台这两方相连，抑制工作台平台相对于框架的振动，减振器具备：容器，固定于框架与工作台平台中的一方，在内部收容有粘性流体；插入体，固定于相对于一方的另一方，插入体的一部分以不与该容器的内壁接触的状态插入到粘性流体中。

主权项

1.一种曝光装置，其特征在于，具备：框架；工作台平台，相对于所述框架升降自如，并且在与升降方向交叉的面内方向上扩展；可动工作台，搭载于所述工作台平台，并且在所述面内方向上移动自如；曝光部，对载置于所述可动工作台的曝光对象照射光来进行曝光；移动机，使所述可动工作台相对于所述工作台平台在所述面内方向上移动；升降机，使搭载有所述可动工作台的所述工作台平台相对于所述框架升降；以及减振器，与所述框架和所述工作台平台这两方相连，抑制所述工作台平台相对于所述框架的振动，所述减振器具备：容器，固定于所述框架与所述工作台平台中的一方，并在内部收容有粘性流体；以及插入体，固定于相对于所述一方的另一方，所述插入体的一部分以不与所述容器的内壁接触的状态插入到所述粘性流体中。