[发明专利]一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵

摘要

本发明公开了一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵，它包括：泵体，其至少包括一级罗茨系统；罗茨系统至少包括一级罗茨工作单元；罗茨工作单元设有成对的罗茨转子、成对的罗茨转轴，以及电驱动终端，电驱动终端联接于罗茨转轴上；啮合机构，其联接于罗茨转轴上，并通过电驱动终端联动罗茨转子进行真空作业；啮合机构与罗茨转轴间装配有磁力联轴器；数字化综合电传驱动系统，其连接电驱动终端，进行电能驱动、调速、启停和联锁的统一控制。本发明每对罗茨转子都是独立的，解除了相互牵扯；通过各对罗茨转子独立电驱减小机械传动长度；采用磁力齿轮传动、磁力联轴器联接减少了润滑和噪音，由静密封改善了密封状态。

主权项

1.一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵，其特征在于，它包括：/n泵体，其至少包括一级罗茨系统；所述罗茨系统至少包括一级罗茨工作单元；所述罗茨工作单元设有成对的罗茨转子、成对的罗茨转轴，以及电驱动终端，所述电驱动终端联接于所述罗茨转轴上；/n啮合机构，其联接于所述罗茨转轴上，并通过所述电驱动终端联动所述罗茨转子进行真空作业；所述啮合机构与所述罗茨转轴间装配有磁力联轴器；/n数字化综合电传驱动系统，其连接所述电驱动终端，进行电能驱动、调速、启停和联锁的统一控制。/n