[发明专利]片式宽域氧传感器双电池单元结构

摘要

本发明涉及车用氧传感器集成芯片技术领域，尤其是一种片式宽域氧传感器双电池单元结构。一种片式宽域氧传感器双电池单元结构，混合腔与内部共用电极都为“工”字型，外侧催化反应电极与内部共用电极的“工”字型的上端重合对应，参比空气侧电极与内部共用电极的“工”字型的下端集中对应，且外侧催化剂反应电极的引线部分底部贴合有绝缘层。这种片式宽域氧传感器双电池单元结构，将内部共用电极分割成“工”字型，电极的两端分别与外侧催化反应电极和参比空气侧电极集中对应，大幅降低相互之间的干扰，有效提升了传感器控制的稳定性和信号测量的准确性。

主权项

1.一种片式宽域氧传感器双电池单元结构，包括上层感应基板（1）、中层骨架基板（2）和低层闭合基板（3），中层骨架基板（2）与上层感应基板（1）和低层闭合基板（3）上下叠加之后构成相互隔绝的混合腔（21）和参比空气通道（22），上层感应基板(1)通过在混合腔(21)对应区域设置内部共用电极(11)，与外侧催化反应电极(13)共同构成泵电池单元；在参比空气通道(22)对应区域设置参比空气侧电极(12)，与内部共用电极(11)共同构成浓差电池单元，泵电池和浓差电池单元都处在加热区域内；参比空气通道(22)通过上层感应基板(1)上设置的通孔(221)与外界空气相通；扩散障碍层(23)设置在混合腔(21)的下面更靠近加热区，并对尾气向混合腔(21)内的扩散形成一定的限制；加热线路(31)直接集成在下层闭合基板(3)的底面上，形成带极限电流泵电池单元和浓差电池单元的双电池宽域氧传感器芯片，其特征是，混合腔（21）与内部共用电极（11）都为“工”字型，外侧催化反应电极（13）与内部共用电极（11）的“工”字型的上端重合对应，参比空气侧电极（12）与内部共用电极（11）的“工”字型的下端集中对应；扩散障碍层(23)设置在混合腔(21)的前端，紧挨泵电池单元且远离浓差电池单元；外侧催化剂反应电极（13）的引线部分底部贴合有绝缘层（14）。