[发明专利]一种微纳尺寸3D打印设备的光路精密装调方法

摘要

本发明公开了一种微纳尺寸3D打印设备的光路精密装调方法，先粗略安装光源、DMD芯片、45°反射镜、投影物镜、液槽和CCD传感器，使光源发射的光束经过DMD芯片反射后，进入45°反射镜后垂直入射投影物镜中心，投影物镜的焦平面和液槽中的液面重合，CCD传感器位于投影物镜正上方；然后将内调焦自准直望远镜的中心对准DMD芯片的中心，利用内调焦自准直望远镜作为辅助工具反向调整光路中每个元件的位置和角度并固定，由于内调焦自准直望远镜自身的光学精度高，因此具有很高的调整精度，非常适合于调整微纳尺寸3D打印设备的光路系统，本发明可以提高光路的同心度和准直精度，并同时检验光路中的关键元器件DMD芯片的反射均匀性，以及投影物镜的性能。

主权项

1.一种微纳尺寸3D打印设备的光路精密装调方法，其特征在于，包括以下操作步骤：/nS1，分别粗略安装光源、DMD芯片、45°反射镜、投影物镜、液槽和CCD传感器，使光源发射的光束经过DMD芯片反射后，进入45°反射镜后垂直入射投影物镜中心，投影物镜的焦平面和液槽中的液面重合，CCD传感器位于投影物镜正上方，利用投影物镜像面反射，用于观察投影物镜像面图案；/nS2，将内调焦自准直望远镜的中心对准DMD芯片的中心；/nS3，通过内调焦自准直望远镜反向调整DMD芯片、45°反射镜、投影物镜、液槽和CCD传感器之间的相对位置关系；/nS4，固定DMD芯片、45°反射镜、投影物镜、液槽和CCD传感器之间的相对位置关系；/n所述 S3具体包括：/nS3-1，通过DLP系统投影一张图片，经过DMD芯片反射后通过内调焦自准直望远镜观察被投影的图片的像，通过被投影的图片的像和原图片对比，判断经过DMD芯片反射后图片的均匀性；/nS3-2，在液槽中装入光敏树脂，安装45°反射镜并调整45°反射镜的俯仰，使液面和内调焦自准直望远镜发出的平行光垂直，从而使光路经过45°反射镜后垂直入射液槽中的液面，检测光路和液槽中的液面的垂直度；/nS3-3，安装投影物镜，通过内调焦自准直望远镜检测并调整投影物镜内部的每个透镜的倾斜度和同心度，从而检测并调整投影物镜本身的倾斜度和同心度；/nS3-4，将45°反射镜沿投影物镜的光轴转动180°，调整CCD传感器芯片相对于内调焦自准直望远镜的同心度和垂直度，使CCD传感器垂直地观察投影物镜焦平面的中心。/n