[发明专利]一种N型硅基太阳能电池及其制造方法

摘要

本发明涉及一种N型硅基太阳能电池的制造方法，其包括：在N型单晶硅片的表面形成黑硅层；在所述N型单晶硅片的上表面和下表面喷涂含有正丙醇铌的溶液和含有异丙醇锆的溶液，并进行退火处理，以形成第一复合金属氧化物层；在所述N型单晶硅片的上表面沉积P型多晶硅层；在所述P型多晶硅层的表面交替喷涂含有三异丙醇铝的溶液和含有异丙醇钽的溶液，然后进行退火处理，以形成第二复合金属氧化物层；在所述第二复合金属氧化物层的表面沉积透明导电层；在所述透明导电层表面形成上电极，并在所述N型单晶硅片的背面形成下电极。通过优化具体的制备工序以及相应太阳能电池的结构，进而得到有益的光电转换效率。

主权项

1.一种N型硅基太阳能电池的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：/n(1)在N型单晶硅片的表面形成黑硅层；/n(2)在所述N型单晶硅片的上表面和下表面喷涂含有正丙醇铌的溶液和含有异丙醇锆的溶液，并进行退火处理，以形成第一复合金属氧化物层；/n(3)在所述N型单晶硅片的上表面沉积P型多晶硅层；/n(4)在所述P型多晶硅层的表面交替喷涂含有三异丙醇铝的溶液和含有异丙醇钽的溶液，然后进行退火处理，以形成第二复合金属氧化物层；/n(5)在所述第二复合金属氧化物层的表面沉积透明导电层；/n(6)在所述透明导电层表面形成上电极，并在所述N型单晶硅片的背面形成下电极；/n其中，在所述步骤(2)中，喷涂含有正丙醇铌的溶液和含有异丙醇锆的溶液交替进行，且每次交替喷涂工序之后直接进行一次退火处理，然后再进行下一次的交替喷涂工序，交替喷涂的次数为2-6次，退火处理的次数为2-6次，含有正丙醇铌的溶液中的正丙醇铌的浓度为0.05-0.1mg/ml，含有异丙醇锆的溶液中的异丙醇锆的浓度为0.02-0.05mg/ml，每次退火处理的具体工艺为：在空气中，先在300-400℃下热处理5-10分钟，接着升温至500-600℃，并在500-600℃的温度下热处理20-30分钟；/n其中，在所述步骤(4)中，交替喷涂的次数为3-5次，交替喷涂工艺结束之后进行所述退火处理，含有三异丙醇铝的溶液中的三异丙醇铝的浓度为0.2-0.5mg/ml，含有异丙醇钽的溶液中的异丙醇钽的浓度为0.05-0.1mg/ml，所述退火处理的具体工艺为：在空气中，在400-700℃的温度下热处理20-40分钟。/n