[发明专利]激光在透明脆性材料上的钻孔装置及其钻孔方法在审
| 申请号： | 201810108464.2 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN108406139A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 彭轩;卢建刚;杨国会;李启文;潘凯;马国东;唐建刚;尹建刚;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光在透明脆性材料上的钻孔装置及其钻孔方法，其包括：激光光源、由激光光源发出的激光束、扫描振镜系统、位于扫描振镜系统下方的短焦聚焦镜系统、以及固定透明脆性材料的材料固定组件；所述短焦聚焦镜系统所在的焦点平面和材料固定组件所在的平面平行。本发明经过短焦聚焦镜系统精准聚焦在透明脆性材料下表面，聚焦激光光斑按照预先设定的图形轨迹快速循环运动，形成具有一定宽度和深度的钻孔切割缝隙；本发明主要利用快速变焦系统精准快速控制短焦聚焦镜系统聚焦深激光光斑，达到及时去除材料。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性材料 聚焦镜 短焦 钻孔 透明 扫描振镜系统 固定组件 激光光源 钻孔装置 激光 聚焦 聚焦激光光斑 激光光斑 焦点平面 快速变焦 快速控制 快速循环 平面平行 切割缝隙 图形轨迹 激光束 下表面 去除 | ||
【主权项】：
1.一种激光在透明脆性材料上的钻孔装置，其包括：激光光源、由激光光源发出的激光束、扫描振镜系统、位于扫描振镜系统下方的短焦聚焦镜系统、以及固定透明脆性材料的材料固定组件；其特征在于：所述短焦聚焦镜系统所在的焦点平面和材料固定组件所在的平面平行。
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