[发明专利]一种容性耦合等离子体诊断装置及诊断方法有效
| 申请号： | 201810109039.5 | 申请日： | 2018-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN108366482B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 何湘;刘冲;朱寒;庞佳鑫;杨惠;张积利;陈秉岩;张开骁 | 申请（专利权）人： | 河海大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;H05H1/46 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 严晓彪;董建林 |
| 地址： | 210098 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种容性耦合等离子体诊断装置及诊断方法，包括电源单元、电流电压数据采集单元、放电单元和气道；放电单元包括置于气道两侧的放电电极，电源单元为电极供电，电流电压数据采集单元检测电极的电流与电压；电流电压数据采集单元包括示波器，通过电流环和高压探头检测；电源单元包括带匹配器的射频电源；气道为玻璃腔体，电极分别紧贴玻璃腔体的两侧。整个放电单元除了放电电极为导电金属，其它部件均为绝缘介质，避免了其它金属对放电等离子体的干扰，且该装置可直接运用于非侵入式诊断方法；其结构简单，各部件相对独立，使用方便，改良部件优化放电效果便捷，制作维护成本低，大大提升了使用寿命，具有很强的实用性和广泛的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耦合 等离子体 诊断 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河海大学，未经河海大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810109039.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
