[发明专利]一种基于碘化亚铜的透明薄膜晶体管及制备方法有效
| 申请号： | 201810113409.2 | 申请日： | 2018-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN108376712B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 刘妮;叶志 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/16;H01L21/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 万尾甜;韩介梅 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于碘化亚铜的透明薄膜晶体管及其制备方法，该晶体管以碘化亚铜作为有源层，所述的碘化亚铜采用热蒸发法沉积，且在沉积后经惰性气体退火处理或水蒸气退火处理。所述的基于碘化亚铜的透明薄膜晶体管采用顶栅结构，包括衬底、设于衬底上的源/漏电极、设于源漏电极间的有源层、设于有源层上并将有源区完全覆盖的保护层、顶栅、以及设置于顶栅与保护层之间的绝缘层，该绝缘层完全覆盖保护层。本发明的器件及方法操作复杂度低，且薄膜质量高，很好的解决了传统方法难以两全的尴尬，适用于大范围的工业生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 碘化 透明 薄膜晶体管 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于碘化亚铜的透明薄膜晶体管，其特征在于，该晶体管以碘化亚铜作为有源层，所述的碘化亚铜采用热蒸发法沉积，且在沉积后经惰性气体退火处理或者水蒸气退火处理。
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