[发明专利]一种光谱仪的中阶梯光栅姿态调整方法和校准装置有效
| 申请号： | 201810116151.1 | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN108181238B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 罗剑秋;曹海霞;何淼;赵英飞;夏钟海 | 申请（专利权）人： | 钢研纳克检测技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/27 |
| 代理公司： | 北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙) 11248 | 代理人： | 李彬;张小娟 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于光谱仪分光系统领域，涉及一种光谱仪的中阶梯光栅姿态调整方法和校准装置。本发明的调整方法利用中阶梯光栅的衍射理论，结合分光模块光学系统的具体参数，精确计算中阶梯光栅多个衍射级次的光斑成像在中阶梯光栅姿态调整校准装置上的相对位置，并做出相应标记，据此通过中阶梯光栅固定结构调整中阶梯光栅的三维姿态。本发明的校准装置基于中阶梯光栅衍射理论与光学系统具体参数设计而成，计算精确，易于实现，可操作性强，能够精确实现中阶梯光栅在光谱仪中的姿态调整；同时，该中阶梯光栅姿态调整校准装置装适用性强，当光学系统相关光学参数发生变化时，仅需重新计算设计中阶梯光栅各衍射级次的光斑对应位置即可。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光谱仪 阶梯 光栅 姿态 调整 方法 校准 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光谱仪的中阶梯光栅姿态调整方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：a、在对中阶梯光栅进行精准装调前，中阶梯光栅光谱仪光学系统中的狭缝(11)、准直镜(12)和棱镜(13)均安装在设计位置并调整到设计状态；中阶梯光栅(14)通过具有三维姿态可调功能的光栅固定机构安装；将中阶梯光栅姿态调整校准装置固定安装在中阶梯光栅光谱仪光学系统中的聚焦镜(15)的位置上；所述中阶梯光栅姿态调整校准装置包括固定板和与该固定板呈固定夹角的校准面板，在所述校准面板上，沿其长度方向从上至下依次刻有多个十字叉丝，每个十字叉丝分别为一个根据光学系统精确计算所得的已知波长激光衍射级次的光斑的设计位置；b、激光器光束通过狭缝(11)照射到准直镜(12)上，经准直镜(12)反射后透过棱镜(13)，照射到中阶梯光栅(14)表面，中阶梯光栅(14)衍射出激光器对应波长的多个衍射级次的光斑照射在中阶梯光栅姿态调整校准装置的校准面板上，通过中阶梯光栅固定机构调整中阶梯光栅(14)的三维姿态，使各衍射级次的光斑与校准面板上相对应的十字叉丝的交点重合，此时，中阶梯光栅(14)的姿态与设计的使用状态一致。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于钢研纳克检测技术股份有限公司，未经钢研纳克检测技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810116151.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
