[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体

摘要

振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体。本发明提供一种能够以低功耗发挥优异的振动特性的振动元件，以及具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件(2)具有石英基板(3)，该石英基板(3)具有：基部(4)；从基部(4)起延伸的一对振动臂(5、6)；以及支承臂(71)，其在振动臂(5、6)之间，在与振动臂(5、6)相同的一侧从基部(4)起延伸。并且，振动臂(5)具有臂部(51)和设置在臂部(51)前端的锤头(59)。臂部(51)具有一对主面和朝这些主面敞开的有底的槽。在本发明中，将主面的沿着与振动臂的长度方向垂直的宽度方向隔着槽排列的堤部的宽度设为6μm以下。

主权项

1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件包含：基部，其包含第1端部以及在俯视时位于与所述第1端部相反的一侧的第2端部；以及一对振动臂，它们从所述基部的所述第1端部侧起沿着第1方向延伸，沿着与所述第1方向垂直的第2方向排列，所述振动臂包含：臂部；宽度放大部，其位于所述臂部的与所述基部侧相反的一侧，沿着所述第2方向的长度大于所述臂部，所述振动臂包含：沿着所述第1方向和所述第2方向且彼此处于正反关系的一对主面；连结所述一对主面的一对侧面；以及有底的槽，其在各所述主面上沿着所述第1方向设置，具有沿着与各所述主面垂直的厚度的方向的深度；设与所述一对侧面中的一方连结并在俯视时在所述振动臂的所述主面上沿着所述第2方向与所述槽并排的部分为第1堤部，设与所述一对侧面中的另一方连结并在俯视时在所述振动臂的所述主面上沿着所述第2方向与所述槽并排的部分为第2堤部，所述第1堤部和所述第2堤部的宽度为6μm以下，所述臂部的沿所述第2方向的长度为12.8μm以上、100μm以下，在设所述臂部的沿所述第2方向的长度为W1、所述宽度放大部的沿所述第2方向的长度为W2时，满足1.5≤W2/W1≤10.0的关系。