[发明专利]曝光组件及曝光装置有效
| 申请号： | 201810117546.3 | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN110119072B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 张永裕;林振弘;陈致玮 | 申请（专利权）人： | 志圣科技(广州)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 陈鹏;李静 |
| 地址： | 510850 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种曝光组件及曝光装置，其中，曝光组件包含：一底座及一吸附板。底座用以与一抽气模块连接。吸附板用以承载一待曝光件，吸附板设置于底座上，吸附板包含有多个穿孔，抽气模块能通过穿孔使待曝光件贴附于吸附板；吸附板能吸收通过吸附板而由底座反射的部分曝光光束。如此，可以大幅降低待曝光件受到通过吸附板而由底座反射的曝光光束的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 组件 装置 | ||
【主权项】：
1.一种曝光组件，其特征在于，所述曝光组件包含：一底座，所述底座用以与一抽气模块连接；及一吸附板，所述吸附板用以承载一待曝光件，所述吸附板设置于所述底座上，所述吸附板包含有多个穿孔，所述抽气模块能通过所述穿孔使所述待曝光件贴附于所述吸附板；所述吸附板能吸收通过所述吸附板而由所述底座反射的部分曝光光束。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于志圣科技(广州)有限公司，未经志圣科技(广州)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810117546.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
