[发明专利]一种用于提拉法长晶的温场在审
申请号: | 201810119536.3 | 申请日: | 2018-02-06 |
公开(公告)号: | CN108193264A | 公开(公告)日: | 2018-06-22 |
发明(设计)人: | 佘茜;韩鹏 | 申请(专利权)人: | 安徽中科镭泰激光科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人: | 曹政 |
地址: | 241200 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于提拉法长晶的温场,具有:坩埚;侧保温层,包围坩埚;底保温层,与侧保温层连接并支撑侧保温层;调节机构,设置在侧保温层底部,调节机构支撑坩埚;调节机构具有一个上托块和两个下调节垫块,上托块底部设有一个圆锥形的凸起,下调节垫块上设有与圆锥形的凸起相适配的斜面,两个下调节垫块分别位于上托块的两侧并支撑上托块;线圈,缠绕在侧保温层和底保温层的外周;保温罩,设置在侧保温层的上部比与侧保温层连接;籽晶杆,伸入保温罩内,可方便快捷准确调节坩埚相对高度的方法,可用于温场的细微调节,能够方便、快捷、精准的微调坩埚相对高度,搭建最为合适的晶体生长温场。 | ||
搜索关键词: | 保温层 坩埚 上托 温场 垫块 底保温层 保温罩 提拉法 凸起 支撑 晶体生长 细微调节 籽晶杆 可用 伸入 适配 外周 微调 缠绕 包围 | ||
【主权项】:
1.一种用于提拉法长晶的温场,其特征在于,具有:坩埚;侧保温层,包围所述坩埚;底保温层,与所述侧保温层连接并支撑所述侧保温层;调节机构,设置在所述侧保温层底部,所述调节机构支撑所述坩埚;调节机构具有一个上托块和两个下调节垫块,所述上托块底部设有一个圆锥形的凸起,所述下调节垫块上设有与所述圆锥形的凸起相适配的斜面,所述两个下调节垫块分别位于所述上托块的两侧并支撑所述上托块;线圈,缠绕在所述侧保温层和底保温层的外周;保温罩,设置在所述侧保温层的上部比与所述侧保温层连接;籽晶杆,伸入所述保温罩内。
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