[发明专利]一种悬浮转子MEMS微陀螺

摘要

本发明公开了一种悬浮转子MEMS微陀螺，包括上定子、下定子、周边结构、转子、径向悬浮电极、轴向悬浮电极、导电环、旋转电极，所述上定子上设置有所述轴向悬浮电极，所述轴向悬浮电极旁边内设置有轴向检测电极对，所述轴向悬浮电极上方设置有连接柱，所述连接柱上方设置有所述导电环。有益效果在于：本发明利用电荷驰豫，通过定子表面旋转电压行波，在转子上感应出滞后的电压行波，进而带动转子恒高速转动，不需要转速检测既可以实现转子恒高速转动，通过悬浮电极实现转子的稳定悬浮，同时能够收集多余动能转化为势能，使动能充分利用，整个器件采用MEMS微加工技术制成，易于实施。具有尺寸小，重量轻，成本低，精度高，低功耗的特点。

主权项

1.一种悬浮转子MEMS微陀螺，其特征在于：包括上定子(1)、下定子(4)、周边结构(2)、转子(3)、径向悬浮电极(5)、轴向悬浮电极(11)、导电环(10)、旋转电极(13)，所述上定子(1)上设置有所述轴向悬浮电极(11)，所述轴向悬浮电极(11)旁边内设置有轴向检测电极对(14)，所述轴向悬浮电极(11)上方设置有连接柱(12)，所述连接柱(12)上方设置有所述导电环(10)，所述导电环(10)内侧设置有所述旋转电极(13)，所述上定子(1)下方设置有所述转子(3)，所述转子(3)上设置有动能回收器(15)，所述动能回收器(15)下方设置有电荷驰豫层(7)，所述电荷驰豫层(7)下方设置有绝缘层(8)，所述绝缘层(8)下方设置有支撑层(9)，所述支撑层(9)下方设置有所述绝缘层(8)，所述绝缘层(8)下方设置有电荷驰豫层(7)，所述转子(3)外侧设置有所述周边结构(2)，所述周边结构(2)上设置有所述径向悬浮电极(5)，所述径向悬浮电极(5)旁边设置有径向检测电极对(6)，所述转子(3)下方设置有所述下定子(4)。