[发明专利]气体浓缩传感一体器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种气体浓缩传感一体器件及其制备方法。一体器件为表面覆有介孔隔热层的硅片上依次置有的连接电极的金属氧化物气体传感器、环形绝缘层、环形铂微加热器、环形绝缘层和环形气体浓缩器，其中，环形铂微加热器的宽度≤1μm、厚200‑500nm，电极分别与铂微加热器和电源电连接；方法为多次于表面覆有介孔隔热层的硅片上涂敷电子束抗蚀剂、通过电子束曝光法在电子束抗蚀剂上刻画出相应器件的图形、于图形上溅射或蒸镀出相应的器件后，于环形绝缘层上生长气体浓缩器，制得目的产物。它有着结构紧凑、功耗小，检测极限高、实时和便捷的优点，极易于广泛地应用于对气体的高灵敏度检测，使其在可穿戴或可嵌入智能终端等领域有着广泛的应用前景。

主权项

1.一种气体浓缩传感一体器件，由定位壳中的气体传感器、气体浓缩器、电热器和电极组成，以及与电极连接的电源，其特征在于：所述定位壳为表面覆有介孔隔热层的硅片；所述气体传感器为金属氧化物气体传感器，所述金属氧化物气体传感器附于所述表面覆有介孔隔热层的硅片上；所述气体浓缩器为环形，所述环形气体浓缩器附于所述金属氧化物气体传感器的周边；所述电热器为宽≤1μm、厚200‑500nm的铂微加热器，所述铂微加热器位于所述环形气体浓缩器之下；所述铂微加热器与金属氧化物气体传感器的周边之间、与环形气体浓缩器之间均置有环形绝缘层；所述电极分别与金属氧化物气体传感器、铂微加热器电连接。