[发明专利]流量测定系统有效
| 申请号： | 201810122409.9 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN108398168B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 上田俊人;田中淳;河村真辅 | 申请（专利权）人： | 株式会社大福 |
| 主分类号： | G01F15/00 | 分类号： | G01F15/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 肖日松;刘林华 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在容器收纳设备中，流量测定系统使用流量测定装置来对净化气体的流量进行测定，该容器收纳设备具备：收纳架，其具有支撑部；搬送装置，其对支撑部搬送容器；以及气体供给装置，其将净化气体供给至由支撑部支撑的容器。搬送装置和流量测定装置以能够通信的状态经由电力线而连接。在搬送装置搬送流量测定装置而将该流量测定装置承载于对象支撑部的状态下，流量测定装置对净化气体的流量进行测定。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 测定 系统 | ||
【主权项】：
1.一种流量测定系统，在容器收纳设备中，使用流量测定装置来对从气体供给装置供给的净化气体的流量进行测定，该容器收纳设备具备：收纳架，其具有多个支撑部；搬送装置，其对从多个所述支撑部中选择的对象支撑部搬送容器；以及所述气体供给装置，其将所述净化气体供给至由多个所述支撑部中的每个支撑的所述容器，该流量测定系统的特征在于，所述搬送装置和所述流量测定装置以能够通信的状态经由电力线而连接，在所述搬送装置代替所述容器而搬送所述流量测定装置且将该流量测定装置承载于所述对象支撑部的状态下，所述流量测定装置对所述净化气体的流量进行测定。
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