[发明专利]显影液回收装置在审
| 申请号： | 201810122601.8 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN108319116A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 李威;陆明 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G02F1/13 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请涉及液晶面板制造领域，一种显影液回收装置。包括储液器，所述储液器通过进水管和出水管串联于显影机的显影液循环系统中，所述储液器中设有液位传感器，所述显影液回收装置还包括除泡器，所述除泡器用于消除显影液中的气泡。本申请所述显影液回收装置，因为消除了气泡对所述液位传感器的影响，从而纠正了液位传感器的检测偏差，可以更加准确的检测当前的液位高度，保证正产的正常运行，避免因液位传感偏差而带来的宕机或者基板报废等损失。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液回收 液位传感器 储液器 除泡器 显影液循环系统 液晶面板制造 基板报废 液位传感 出水管 进水管 显影机 显影液 检测 液位 宕机 申请 串联 纠正 保证 | ||
【主权项】：
1.一种显影液回收装置，其特征在于，包括储液器，所述储液器通过进水管和出水管串联于显影机的显影液循环系统中，所述储液器中设有液位传感器，所述显影液回收装置还包括除泡器，所述除泡器用于消除显影液中的气泡。
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