[发明专利]衍射光栅的制造方法在审
| 申请号： | 201810122963.7 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN108470596A | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 土岐贵弘;和田幸久;德田敏;林信和;吉牟田利典 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种衍射光栅的制造方法。该衍射光栅的制造方法具备如下工序：利用投影到多个单位衍射光栅的周期性的图案和多个单位衍射光栅生成莫尔条纹；以及基于所生成的莫尔条纹的形状，使多个单位衍射光栅中的至少1个单位衍射光栅相对于其他至少1个单位衍射光栅相对地旋转，从而调整成光栅所延伸的方向一致的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射光栅 多个单位 单位衍射光栅 莫尔条纹 制造 方向一致 光栅 投影 图案 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种衍射光栅的制造方法，其具备如下工序：利用投影到多个单位衍射光栅的周期性的图案和所述多个单位衍射光栅生成莫尔条纹；以及基于所生成的所述莫尔条纹的形状，使所述多个单位衍射光栅中的至少1个单位衍射光栅相对于所述多个单位衍射光栅中的其他至少1个单位衍射光栅相对地旋转，从而调整成光栅所延伸的方向一致的状态。
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