[发明专利]一种基于切削刀具的复合涂层制备工艺在审
| 申请号： | 201810125438.0 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN108315737A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 姚勇 | 申请（专利权）人： | 上海三朗纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04;C23C16/27;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于切削刀具的复合涂层制备工艺，包括将切削刀具依次进行清洗前处理以及脱钴预处理，并清洗后吹干待用；将待用的切削刀具放入CVD金刚石沉积炉中，然后将CVD金刚石沉积炉抽真空，再按照CH4、H2、N2气流速率比1∶100～300∶1～3通入CH4、H2、N2三者的混合气体，加热热丝，以调节切削刀具的表面温度为600～1000℃，沉积6～10h，切削刀具表面形成导电金刚石涂层；再在CVD涂层表面进行TiN涂层沉积，得到复合涂层切削刀具。本发明公开一种基于切削刀具的复合涂层制备工艺，通过对切削刀具内部进行CVD导电金刚石涂层涂覆，再通过对CVD导电金刚石涂层表面进行TiN涂层涂覆，形成一种复合涂层的刀具。通过该制备工艺制备的切削刀具导电性好、韧性强、耐磨性好，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 切削刀具 复合涂层 制备工艺 导电金刚石 涂层表面 沉积炉 沉积 涂覆 清洗 预处理 导电性 耐磨性 表面形成 混合气体 使用寿命 抽真空 前处理 速率比 吹干 放入 加热 热丝 脱钴 制备 刀具 | ||
【主权项】：
1.一种基于切削刀具的复合涂层制备工艺，其特征在于，包括切削刀具内部的CVD涂层工艺和CVD涂层外部的PVD涂层工艺；其中，切削刀具内部的CVD涂层工艺包括以下步骤：步骤1：将切削刀具依次进行清洗前处理以及脱钴预处理，并将脱钴预处理后的切削刀具清洗后吹干待用；步骤2：将步骤1中待用的切削刀具放入CVD金刚石沉积炉中，然后将CVD金刚石沉积炉抽真空，炉内压力不得高于10pa，再按照CH4、H2、N2气流速率比1∶100～300∶1～3通入CH4、H2、N2三者的混合气体，气体压力为‑100～‑90KPa，加热热丝，以调节切削刀具的表面温度为600～1000℃，沉积6～10h，切削刀具表面形成导电金刚石涂层；CVD涂层外部的PVD涂层工艺包括：在步骤2的表面进行TiN涂层沉积，得到复合涂层切削刀具。
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